公开(公告)号：CN101248505B

公开(公告)日：2010-12-15

申请号：CN200680030708.5

申请日：2006-07-10

申请人： 耐克斯金思美控股公司

发明人： 迈克尔·约翰·桑尼 ,  杰弗里·温菲尔德·斯科特 ,  马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 ,  马克·安东尼·麦瑟

IPC分类号： H01J37/302

CPC分类号： H01J37/3056 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3172 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31735 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31766 ,  H01L21/265 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/76267 ,  H01L21/84 ,  H01L27/0629 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66659 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24893

摘要： 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括：带电粒子源，用于生成带电粒子流；准直器，配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流；位于准直器下游的束数字化装置，配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距，形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束；位于所述束数字化装置下游的偏转反射器，所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台，以偏转所述数字化束；以及位于偏转反射器的下游的工件台，所述工件台配置用于保持工件。

公开(公告)号：CN101248505A

公开(公告)日：2008-08-20

申请号：CN200680030708.5

申请日：2006-07-10

申请人： 耐克斯金思美控股公司

发明人： 迈克尔·约翰·桑尼 ,  杰弗里·温菲尔德·斯科特 ,  马克·焦瑟菲·本纳米亚斯 ,  马克·安东尼·麦瑟

IPC分类号： H01J37/302

CPC分类号： H01J37/3056 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  H01J37/045 ,  H01J37/3007 ,  H01J37/304 ,  H01J37/3172 ,  H01J37/3174 ,  H01J37/3177 ,  H01J2237/0432 ,  H01J2237/047 ,  H01J2237/30472 ,  H01J2237/31713 ,  H01J2237/31732 ,  H01J2237/31735 ,  H01J2237/31737 ,  H01J2237/3174 ,  H01J2237/31749 ,  H01J2237/3175 ,  H01J2237/31766 ,  H01L21/265 ,  H01L21/26513 ,  H01L21/76267 ,  H01L21/84 ,  H01L27/0629 ,  H01L29/66462 ,  H01L29/66659 ,  Y10T428/24802 ,  Y10T428/24893

摘要： 一种用于用带电粒子对工件进行曝光的室包括：带电粒子源，用于生成带电粒子流；准直器，配置用于沿着轴线准直和引导来自带电粒子源的带电粒子流；位于准直器下游的束数字化装置，配置用于通过调整沿着所述轴线的带电粒子之间的纵向间距，形成包括至少一个带电粒子的组的数字化束；位于所述束数字化装置下游的偏转反射器，所述偏转反射器包括一系列的沿着所述轴线纵向设置的偏转电极台，以偏转所述数字化束；以及位于偏转反射器的下游的工件台，所述工件台配置用于保持工件。