物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN110595456B

    公开(公告)日:2023-12-12

    申请号:CN201910504874.3

    申请日:2019-06-12

    Inventor: 鸟本达朗

    Abstract: 提供一种物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体,物理量传感器检测物理量的精度优异。作为物理量传感器的加速度传感器(100)包括:加速度传感器元件(1)和电路元件(2),该加速度传感器元件(1)包括:基板式与基板(12)接合;以及加速度传感器元件片(10),收纳于收纳空间(S2)并能够检测物理量,该电路元件(2)由粘接材料(131)粘接于盖(50)的与加速度传感器元件片(10)侧相反侧的上表面(50f),该加速度传感器(100)在盖(50)的上表面(50f)的外缘区域,沿着盖(50)的外缘设置有凹部(70)。(12);盖(50),以在内部构成收纳空间(S2)的方

    物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体

    公开(公告)号:CN110595456A

    公开(公告)日:2019-12-20

    申请号:CN201910504874.3

    申请日:2019-06-12

    Inventor: 鸟本达朗

    Abstract: 提供一种物理量传感器、复合传感器、惯性测量单元、电子设备及移动体,物理量传感器检测物理量的精度优异。作为物理量传感器的加速度传感器(100)包括:加速度传感器元件(1)和电路元件(2),该加速度传感器元件(1)包括:基板(12);盖(50),以在内部构成收纳空间(S2)的方式与基板(12)接合;以及加速度传感器元件片(10),收纳于收纳空间(S2)并能够检测物理量,该电路元件(2)由粘接材料(131)粘接于盖(50)的与加速度传感器元件片(10)侧相反侧的上表面(50f),该加速度传感器(100)在盖(50)的上表面(50f)的外缘区域,沿着盖(50)的外缘设置有凹部(70)。

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