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公开(公告)号:CN105375815A
公开(公告)日:2016-03-02
申请号:CN201510477540.3
申请日:2015-08-06
Applicant: 精工爱普生株式会社
CPC classification number: H01L41/0475 , B25J9/12 , B25J17/00 , H01L41/042 , H01L41/0472 , H01L41/09 , H01L41/0913 , H02N2/004 , H02N2/0085 , H02N2/103 , H02N2/14 , H02P25/032 , H02P25/16 , H02P25/32 , Y10S901/28
Abstract: 本发明涉及压电驱动装置、机器人以及它们的驱动方法。在压电元件的电极焊接线状的导线的配线结构中需要用于导线的空间,另外,配线作业中容易断线。压电驱动装置具备振动板、以及具有基板和设置在上述基板上的压电元件的压电振动体。压电元件具有第1电极、第2电极和压电体,在基板上,第1电极、压电体、和第2电极按照该顺序被层叠。以基板和振动板夹着压电元件的方式将压电振动体设置在振动板上。在振动板上形成有包括与第1电极对应的第1配线和与第2电极对应的第2配线的配线图案,第1电极和第1配线经由第1层叠导电部经由连接,第2电极和上述第2配线经由第2层叠导电部连接。