公开(公告)号：CN106062944A

公开(公告)日：2016-10-26

申请号：CN201580011368.0

申请日：2015-01-02

Applicant: 现代重工业株式会社

Inventor： 金钟郁 ,  金祥铉 ,  金兑炫 ,  尹大奎

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67766 ,  H01L21/67706 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明涉及一种基板传送装置用升降装置以及基板传送装置。所述基板传送装置用升降装置包括：升降单元，用于升降传送臂，以改变用于传送基板的所述传送臂所处的高度；第一升降引导部和第二升降引导部，相互并排配置，用于引导所述传送臂的升降；第一升降导块，包括结合于所述第一升降引导部的第一导槽；以及第二升降导块，包括结合于所述第二升降引导部的第二导槽，其中，所述第一导槽与所述第二导槽被配置成相互对置。

公开(公告)号：CN105514006A

公开(公告)日：2016-04-20

申请号：CN201510645065.6

申请日：2015-10-08

Applicant: 现代重工业株式会社

Inventor： 金兑炫 ,  金祥铉 ,  金钟郁

IPC: H01L21/677

CPC classification number: H01L21/67739 ,  H01L21/67742

Abstract: 本发明涉及一种旋转限制装置以及包含该旋转限制装置的基板搬运装置，旋转限制装置的特征在于，包括：第一限制构件，结合于旋转部上；第二限制构件，可旋转地结合于运行底座上；以及移动构件，用于控制第二限制构件的位置，若第一限制构件旋转而接触于第二限制构件，则第二限制构件一同旋转，当第二限制构件由于与第一限制构件接触而旋转时，移动构件控制第二限制构件的位置，以限制第二限制构件的旋转范围，从而在确保旋转部旋转一圈的同时防止旋转部连续旋转。根据本发明，第二限制构件可移动地结合于运行底座上，由此，能够防止由于第二限制构件的厚度而形成旋转部不能旋转的范围，从而能够提高搬运基板的工作效率。