公开(公告)号：CN119786414A

公开(公告)日：2025-04-08

申请号：CN202411903734.0

申请日：2024-12-23

Applicant: 河南省科学院激光制造研究所

Inventor： 谷刘涛 ,  江浩庆 ,  柳津 ,  邢金龙 ,  余登德 ,  郝宏伟 ,  樊文鑫 ,  王景瑞 ,  武辉军 ,  时鹏 ,  石瑞雨

IPC: H01L21/68 ,  H01L21/67

Abstract: 本公开提供了一种晶圆纠偏方法及装置，应用于晶圆加工技术领域，包括：获取待切割晶圆的图像，所述待切割晶圆包含若干切割道；基于获取的待切割晶圆的图像，识别确定目标切割道，并确定所述目标切割道的倾斜角度；基于确定的所述目标切割道的倾斜角度，对待切割晶圆进行纠偏处理。也即是说，通过识别确定待切割晶圆的目标切割道的倾斜角度，基于目标切割道的倾斜角度进行晶圆的纠偏处理，从而无论是以平边作为定位标记的晶圆，还是U型角或者V型角作为定位标记的晶圆，均能够实现纠偏，提升了晶圆纠偏的普适性。