公开(公告)号：CN110892502A

公开(公告)日：2020-03-17

申请号：CN201880045797.3

申请日：2018-05-30

申请人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

发明人： 耶格·科什保尔 ,  H·博瓦蒂 ,  西格弗里德·克拉斯尼策尔 ,  马库斯·埃塞尔巴赫

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

摘要： 本发明披露了一种靶组件，其允许安全、无裂且经济的靶材工作，伴随在电弧蒸发工艺以及溅射工艺中的低的断裂韧度和/或抗弯强度。本发明披露了一种用于PVD工艺的靶组件，包括靶和靶保持机构(20)，其特征是，该靶(10)包括第一卡口锁，该靶保持机构(20)包括用于靶的第一卡口锁的配对体和用于在沉积室的冷却机构内接合靶组件的第二卡口锁。

公开(公告)号：CN110892502B

公开(公告)日：2022-10-04

申请号：CN201880045797.3

申请日：2018-05-30

申请人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

发明人： 耶格·科什保尔 ,  H·博瓦蒂 ,  西格弗里德·克拉斯尼策尔 ,  马库斯·埃塞尔巴赫

IPC分类号： H01J37/34 ,  C23C14/35

摘要： 本发明披露了一种靶组件，其允许安全、无裂且经济的靶材工作，伴随在电弧蒸发工艺以及溅射工艺中的低的断裂韧度和/或抗弯强度。本发明披露了一种用于PVD工艺的靶组件，包括靶和靶保持机构(20)，其特征是，该靶(10)包括第一卡口锁，该靶保持机构(20)包括用于靶的第一卡口锁的配对体和用于在沉积室的冷却机构内接合靶组件的第二卡口锁。

公开(公告)号：CN113677823A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202080028347.0

申请日：2020-02-20

申请人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

发明人： 马库斯·埃塞尔巴赫 ,  西蒙·亚伯拉罕 ,  米凯尔·艾本伯格 ,  安德烈亚斯·弗吕克 ,  奥斯玛·齐格

IPC分类号： C23C14/50

摘要： 本发明提供一种用于涂覆基片的解决方案，基片借助于载具被移动，该载具能够在具有如下系统的连续串列生产设备中在涂装、涂覆或处理模块之间移动，该系统允许在用于重要工艺过程，如物理气相沉积(PVD)涂覆、UV硬化和IR闪照的有限来回回转运动，即所谓摇摆模式，与在基片处于涂装或干燥过程模块中时的基片连续回转运动之间轻松切换。