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发明公开
用于在模块式涂覆设备中输送并移动基片的优化系统和方法无效

公开(公告)号：CN113677823A

公开(公告)日：2021-11-19

申请号：CN202080028347.0

申请日：2020-02-20

申请人： 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔

发明人： 马库斯·埃塞尔巴赫 , 西蒙·亚伯拉罕 , 米凯尔·艾本伯格 , 安德烈亚斯·弗吕克 , 奥斯玛·齐格

IPC分类号： C23C14/50

摘要： 本发明提供一种用于涂覆基片的解决方案，基片借助于载具被移动，该载具能够在具有如下系统的连续串列生产设备中在涂装、涂覆或处理模块之间移动，该系统允许在用于重要工艺过程，如物理气相沉积(PVD)涂覆、UV硬化和IR闪照的有限来回回转运动，即所谓摇摆模式，与在基片处于涂装或干燥过程模块中时的基片连续回转运动之间轻松切换。