用于脆性材料的安全经济蒸发的靶组件
摘要:
本发明披露了一种靶组件,其允许安全、无裂且经济的靶材工作,伴随在电弧蒸发工艺以及溅射工艺中的低的断裂韧度和/或抗弯强度。本发明披露了一种用于PVD工艺的靶组件,包括靶和靶保持机构(20),其特征是,该靶(10)包括第一卡口锁,该靶保持机构(20)包括用于靶的第一卡口锁的配对体和用于在沉积室的冷却机构内接合靶组件的第二卡口锁。
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