发明公开
- 专利标题: 用于脆性材料的安全经济蒸发的靶组件
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申请号: CN201880045797.3申请日: 2018-05-30
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公开(公告)号: CN110892502A公开(公告)日: 2020-03-17
- 发明人: 耶格·科什保尔 , H·博瓦蒂 , 西格弗里德·克拉斯尼策尔 , 马库斯·埃塞尔巴赫
- 申请人: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 申请人地址: 瑞士普费菲孔市库尔街120号
- 专利权人: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 当前专利权人: 欧瑞康表面处理解决方案股份公司普费菲孔
- 当前专利权人地址: 瑞士普费菲孔市库尔街120号
- 代理机构: 北京海虹嘉诚知识产权代理有限公司
- 代理商 何志欣
- 优先权: 00708/17 2017.06.01 CH
- 国际申请: PCT/EP2018/064281 2018.05.30
- 国际公布: WO2018/220067 EN 2018.12.06
- 进入国家日期: 2020-01-13
- 主分类号: H01J37/34
- IPC分类号: H01J37/34 ; C23C14/35
摘要:
本发明披露了一种靶组件,其允许安全、无裂且经济的靶材工作,伴随在电弧蒸发工艺以及溅射工艺中的低的断裂韧度和/或抗弯强度。本发明披露了一种用于PVD工艺的靶组件,包括靶和靶保持机构(20),其特征是,该靶(10)包括第一卡口锁,该靶保持机构(20)包括用于靶的第一卡口锁的配对体和用于在沉积室的冷却机构内接合靶组件的第二卡口锁。
公开/授权文献
- CN110892502B 用于脆性材料的安全经济蒸发的靶组件 公开/授权日:2022-10-04