-
公开(公告)号:CN104245547B
公开(公告)日:2016-07-27
申请号:CN201380021075.1
申请日:2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/045 , H01L21/67784
Abstract: 用于利用气体使对象物悬浮并向第一方向输送的输送装置,具备:悬浮部,其喷出上述气体对上述对象物加压从而使上述对象物悬浮;输送部,其具备带以及多个辊中的至少一方,该带是在上述第一方向上延伸的环形带,并具备为与上述对象物接触而突出的多个突起,该多个辊在上述第一方向上能够旋转,并在上述第一方向上排列,上述输送部为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动而构成;罩,其覆盖上述输送部、或者与上述输送装置邻接地平行延伸并仅使上述多个突起或上述多个辊的各自的上端突出、且具备与上述对象物的下表面平行的面;以及吸引部,其对上述罩内给与负压而使上述对象物与上述输送部接触。
-
公开(公告)号:CN108974943B
公开(公告)日:2021-06-29
申请号:CN201810924904.1
申请日:2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , B65G51/03 , G02F1/13 , H01L21/677
Abstract: 通过防止基板前端的挠曲,从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备:浮起部,通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起;搬运部,具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起,向上述第一方向驱动上述对象物;吸引部,对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触;以及变形机构,包含于上述浮起部或上述搬运部,使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
-
公开(公告)号:CN104245546A
公开(公告)日:2014-12-24
申请号:CN201380020061.8
申请日:2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G2249/045 , H01L21/67706 , H01L21/67784
Abstract: 一种搬运装置,其用于通过气体使对象物悬浮并将该对象物向第一方向搬运,上述搬运装置具备:悬浮部,其通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物悬浮;搬运部,其具备皮带及多个辊中至少一方,该皮带为沿上述第一方向延伸的环形,具备能够与上述对象物接触的多个突起,该辊能够向上述第一方向旋转,沿上述第一方向排列,该搬运部构成为与上述对象物接触并向上述第一方向驱动;罩,其覆盖上述搬运部,并仅使上述多个突起或上述多个辊各自的上端突出;以及吸引部,其使上述罩内处于负压而使上述对象物与上述搬运部接触。
-
公开(公告)号:CN110770452A
公开(公告)日:2020-02-07
申请号:CN201880040607.9
申请日:2018-06-28
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 离心压缩机具备:叶轮;主流路(101),其配置有叶轮,且沿叶轮的旋转轴方向延伸;副流路(102),其具有与主流路(101)连通的上游连通部(103)及在比上游连通部(103)靠叶轮侧与主流路(101)连通的下游连通部(104),且沿叶轮的旋转方向延伸;多个开闭部,其具有开口部,且配置于副流路(102);以及驱动部(108),其使多个开闭部中的至少一个在旋转方向上动作。
-
公开(公告)号:CN102548763B
公开(公告)日:2014-08-06
申请号:CN201080039776.4
申请日:2010-08-31
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 在胶印印刷装置中,将版载置台(4)及基板载置台(6)设置为能够在设置于台座(1)的导轨(2)上行进。在导轨(2)的与长度方向中间部对应的部位设置转印机构部(9),其具有橡皮辊(10)、橡皮辊的升降用致动器(13)、橡皮辊的高度传感器(14)、检测橡皮辊与版(3)及基板(5)的接触压力的压力传感器(15)。此外,控制器控制升降用致动器(13)使得令橡皮辊(10)与版(3)及基板(5)接触时由压力传感器(15)检测到的接触压力为既定值。通过令从版(3)向橡皮辊(10)进行转印时的接触压力与从橡皮辊(10)向基板(5)进行再转印时的接触压力分别均一,令与版(3)及基板(5)的接触部分的变形量均一并且令周速相等。其结果,能够提高印刷精度。
-
公开(公告)号:CN108974943A
公开(公告)日:2018-12-11
申请号:CN201810924904.1
申请日:2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , B65G51/03 , G02F1/13 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67784
Abstract: 通过防止基板前端的挠曲,从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备:浮起部,通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起;搬运部,具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起,向上述第一方向驱动上述对象物;吸引部,对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触;以及变形机构,包含于上述浮起部或上述搬运部,使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
-
公开(公告)号:CN104822613A
公开(公告)日:2015-08-05
申请号:CN201380063583.6
申请日:2013-02-26
Applicant: 株式会社IHI
IPC: B65G49/06 , B65G15/42 , B65G51/03 , H01L21/677
CPC classification number: B65G49/065 , B65G51/03 , B65G2249/045 , G02F1/1303 , H01L21/67784
Abstract: 通过防止基板前端的挠曲,从而防止基板与搬运装置碰撞。通过气体使对象物浮起并向第一方向搬运的搬运装置具备:浮起部,通过喷出上述气体对上述对象物加压而使上述对象物浮起;搬运部,具备沿上述第一方向延伸的无接头的带和能够从上述带突出而与上述对象物接触的多个突起,向上述第一方向驱动上述对象物;吸引部,对上述对象物施加负压而使上述对象物与上述搬运部接触;以及变形机构,包含于上述浮起部或上述搬运部,使上述对象物在其宽度方向中央挠曲。
-
公开(公告)号:CN102548763A
公开(公告)日:2012-07-04
申请号:CN201080039776.4
申请日:2010-08-31
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 在胶印印刷装置中,将版载置台(4)及基板载置台(6)设置为能够在设置于台座(1)的导轨(2)上行进。在导轨(2)的与长度方向中间部对应的部位设置转印机构部(9),其具有橡皮辊(10)、橡皮辊的升降用致动器(13)、橡皮辊的高度传感器(14)、检测橡皮辊与版(3)及基板(5)的接触压力的压力传感器(15)。此外,控制器控制升降用致动器(13)使得令橡皮辊(10)与版(3)及基板(5)接触时由压力传感器(15)检测到的接触压力为既定值。通过令从版(3)向橡皮辊(10)进行转印时的接触压力与从橡皮辊(10)向基板(5)进行再转印时的接触压力分别均一,令与版(3)及基板(5)的接触部分的变形量均一并且令周速相等。其结果,能够提高印刷精度。
-
-
公开(公告)号:CN110770452B
公开(公告)日:2022-01-07
申请号:CN201880040607.9
申请日:2018-06-28
Applicant: 株式会社IHI
Abstract: 离心压缩机具备:叶轮;主流路(101),其配置有叶轮,且沿叶轮的旋转轴方向延伸;副流路(102),其具有与主流路(101)连通的上游连通部(103)及在比上游连通部(103)靠叶轮侧与主流路(101)连通的下游连通部(104),且沿叶轮的旋转方向延伸;多个开闭部,其具有开口部,且配置于副流路(102);以及驱动部(108),其使多个开闭部中的至少一个在旋转方向上动作。
-
-
-
-
-
-
-
-
-