公开(公告)号：CN104520966B

公开(公告)日：2016-11-16

申请号：CN201380041393.4

申请日：2013-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  细谷幸太郎 ,  振木昌成

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。

公开(公告)号：CN104520966A

公开(公告)日：2015-04-15

申请号：CN201380041393.4

申请日：2013-07-08

Applicant: 株式会社日立高新技术

Inventor： 大南佑介 ,  河西晋佐 ,  铃木宏征 ,  细谷幸太郎 ,  振木昌成

IPC: H01J37/20 ,  H01J37/16 ,  H01J37/18

CPC classification number: H01J37/18 ,  H01J37/16 ,  H01J37/20 ,  H01J37/261 ,  H01J37/28 ,  H01J2237/1825 ,  H01J2237/2448 ,  H01J2237/2602 ,  H01J2237/2605

Abstract: 本发明提供一种具备对气体氛围或者液体状态下的试样进行观察的功能的带电粒子束装置，其目的在于对向干燥状态的试样导入液体而逐渐浸润的样子进行观察，并且防止向隔膜与试样之间导入多余的液体而使带电粒子束散射。本发明具备如下结构，该结构具备从试样(6)的下表面方向或者侧面方向导入导出所希望的液体或者气体的导入导出部(300)，并在试样(6)与隔膜(10)为非接触的状态下将一次带电粒子束照射至试样(6)。