公开(公告)号：CN101460833A

公开(公告)日：2009-06-17

申请号：CN200780020228.5

申请日：2007-05-29

Applicant: 株式会社尼康

Inventor： 藤森义彦 ,  石井裕和

IPC: G01N21/956 ,  G01B11/30 ,  H01L21/66

CPC classification number: G01B11/24 ,  G01N21/21 ,  G01N21/9501 ,  G01N21/95607 ,  G01N2021/9513

Abstract: 一种表面检查设备(1)包括利用线偏振光(L1)来照明形成有重复图案的晶片(10)的表面的照明光学系统(30)；保持晶片(10)的对准台(20)；拾取来自晶片(10)表面的反射光的图像的拾取光学系统(40)；存储通过拾取光学系统(40)拾取的图像的图像存储单元(51)；对存储在图像存储单元(51)中的图像执行预定的图像处理并检测重复图案的缺陷的图像处理单元(52)；以及输出通过图像处理单元(52)处理的图像的结果的图像输出单元(53)。第二偏振板(43)的传输轴的方位设定为相对于第一偏振板(32)的传输轴成45度倾斜。