公开(公告)号：CN102890404B

公开(公告)日：2015-10-21

申请号：CN201210211232.2

申请日：2012-06-21

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 铃木理人 ,  河野拓也 ,  高桑真步 ,  福原和也

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F9/7042 ,  B29C2043/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及压印方法和压印系统。根据一个实施例，一种压印方法包括：在要处理的膜上涂敷光固性有机材料，使模板的凹凸图形接触所述光固性有机材料，在使所述模板接触所述光固性有机材料的状态下向所述模板施加力，通过在使所述模板接触所述光固性有机材料的状态下将光辐射到所述光固性有机材料来固化所述光固性有机材料，以及在光辐射之后将所述模板撤离所述光固性有机材料。施加到所述模板的力对应于在所述要处理的膜的表面和所述模板之间的间隙。

公开(公告)号：CN102890404A

公开(公告)日：2013-01-23

申请号：CN201210211232.2

申请日：2012-06-21

Applicant: 株式会社东芝

Inventor： 铃木理人 ,  河野拓也 ,  高桑真步 ,  福原和也

IPC: G03F7/00

CPC classification number: G03F9/7042 ,  B29C2043/025 ,  B82Y10/00 ,  B82Y40/00 ,  G03F7/0002

Abstract: 本发明涉及压印方法和压印系统。根据一个实施例，一种压印方法包括：在要处理的膜上涂敷光固性有机材料，使模板的凹凸图形接触所述光固性有机材料，在使所述模板接触所述光固性有机材料的状态下向所述模板施加力，通过在使所述模板接触所述光固性有机材料的状态下将光辐射到所述光固性有机材料来固化所述光固性有机材料，以及在光辐射之后将所述模板撤离所述光固性有机材料。施加到所述模板的力对应于在所述要处理的膜的表面和所述模板之间的间隙。