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公开(公告)号：CN104508434A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201380040625.4
申请日：2013-06-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
CPC classification number: G01F1/692 , G01F1/6842 , G01F1/6845
Abstract: 提供流量测定精度高的热式空气流量传感器。该热式空气流量传感器具有测定元件，该测定元件包括：半导体衬底；电绝缘体，其包括在上述半导体衬底上沉积薄膜而形成的发热电阻体、测温电阻体和氧化硅膜；和隔膜部，其是将半导体衬底的一部分除去而形成的，在上述隔膜部上形成有上述发热电阻体和上述测温电阻体，薄膜相对于上述测定元件的面积的占有面积的比率为40％～60％。
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公开(公告)号：CN107003165B
公开(公告)日：2021-03-09
申请号：CN201580064579.0
申请日：2015-11-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 在现有的空气流量计中，对于粒径较大的异物利用惯性力来应对接触检测元件，但是对于粒径在10μm以下的质量非常小的异物，存在在旁通结构内部惯性力几乎不起作用而附着在检测元件上的可能性。另外，上述粒径在10μm以下的质量非常小的异物主要可列举美国SAE标准J726C中规定的AC粉尘等，是对美国亚利桑那的沙漠的沙进行精炼而制造的，已知该沙(沙尘)易于带电，存在带有静电的粒径较小的粉尘附着在检测元件上时，因其库仑力而难以脱离的课题。上述课题能够用以下特征的热式流量传感器解决，其包括检测流量的半导体元件，该半导体元件在硅等半导体基片上形成绝缘层和电阻配线层，存在除去上述基片的一部分而薄膜化的区域(薄膜)，在该薄膜区域内设置至少一个以上的加热电阻体(加热部)，在其上游和下游配置有检测温度差的测温电阻体，在半导体元件上形成导电性膜，以使上述薄膜内的配线电阻周边区域中的向空气流暴露的表面一侧的电位成为任意的固定电位。
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公开(公告)号：CN107110685A
公开(公告)日：2017-08-29
申请号：CN201580062106.7
申请日：2015-11-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在同一基片上形成有检测部和电路部的热式流体流量传感器，在检测部的层间绝缘膜形成较深的凹部、在其上形成具有拉伸应力的绝缘膜而进行应力调整时，能够防止因该绝缘膜产生裂缝等而导致热式流体流量传感器的可靠性降低的情况。其方案是在薄膜部上在形成于层间绝缘膜的凹部的侧壁设置阶梯状的台阶。由此减少构成凹部的第一凹部和第二凹部各自的深度，使覆盖凹部的侧壁和底面的调整应力用的绝缘膜的包覆性提高。
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公开(公告)号：CN107003165A
公开(公告)日：2017-08-01
申请号：CN201580064579.0
申请日：2015-11-18
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 在现有的空气流量计中，对于粒径较大的异物利用惯性力来应对接触检测元件，但是对于粒径在10μm以下的质量非常小的异物，存在在旁通结构内部惯性力几乎不起作用而附着在检测元件上的可能性。另外，上述粒径在10μm以下的质量非常小的异物主要可列举美国SAE标准J726C中规定的AC粉尘等，是对美国亚利桑那的沙漠的沙进行精炼而制造的，已知该沙(沙尘)易于带电，存在带有静电的粒径较小的粉尘附着在检测元件上时，因其库仑力而难以脱离的课题。上述课题能够用以下特征的热式流量传感器解决，其包括检测流量的半导体元件，该半导体元件在硅等半导体基片上形成绝缘层和电阻配线层，存在除去上述基片的一部分而薄膜化的区域(薄膜)，在该薄膜区域内设置至少一个以上的加热电阻体(加热部)，在其上游和下游配置有检测温度差的测温电阻体，在半导体元件上形成导电性膜，以使上述薄膜内的配线电阻周边区域中的向空气流暴露的表面一侧的电位成为任意的固定电位。
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公开(公告)号：CN107110685B
公开(公告)日：2019-11-19
申请号：CN201580062106.7
申请日：2015-11-26
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Abstract: 本发明提供一种在同一基片上形成有检测部和电路部的热式流体流量传感器，在检测部的层间绝缘膜形成较深的凹部、在其上形成具有拉伸应力的绝缘膜而进行应力调整时，能够防止因该绝缘膜产生裂缝等而导致热式流体流量传感器的可靠性降低的情况。其方案是在薄膜部上在形成于层间绝缘膜的凹部的侧壁设置阶梯状的台阶。由此减少构成凹部的第一凹部和第二凹部各自的深度，使覆盖凹部的侧壁和底面的调整应力用的绝缘膜的包覆性提高。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103975226B
公开(公告)日：2016-12-07
申请号：CN201180075125.5
申请日：2011-11-28
Applicant: 日立汽车系统株式会社
IPC: G01F1/692
Abstract: 本发明提供减少了测量误差的热式空气流量传感器。上述热式空气流量传感器包括：半导体衬底；形成于上述半导体衬底上的发热电阻体、测温电阻体和包含氧化硅膜的电绝缘体；和将上述半导体衬底的一部分除去而形成的膜片部，上述发热电阻体和上述测温电阻体形成在上述膜片部上，在上述发热电阻体和上述测温电阻体的上层具有作为上述电绝缘体而形成的氮化硅膜，其中，上述氮化硅膜形成有与上述发热电阻体和上述测温电阻体图案对应的台阶，并且，上述氮化硅膜为多层构造。
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公开(公告)号：CN102735298A
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：CN201210209399.5
申请日：2009-12-08
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
IPC: G01F1/692
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699 , G01F5/00 , Y10T29/49083
Abstract: 本发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17))，且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。
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公开(公告)号：CN102692255A
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN201110461924.8
申请日：2011-12-31
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
CPC classification number: H01L35/34 , G01F1/6845 , G01F1/692 , H01L2224/48091 , Y10T29/49082 , Y10T29/49124 , H01L2924/00014
Abstract: 本发明的目的在于解决现有技术中存在的下述课题：在同一基板上形成检测部和电路部的热式传感器中，由于用于保护电路部的绝缘膜，由加热器的灵敏度下降、检测部的残留应力变化而引起精度恶化。本发明通过以下技术手段解决上述课题：在发热电阻体(24)上设置包含多个绝缘膜的层叠膜(25-27)，在层叠膜上设置中间层(29)，在中间膜上设置包含多个绝缘膜的层叠膜(30、32、33)。另外，中间层是由氮化铝、氧化铝、碳化硅、氮化钛、氮化钨或钛钨中的任一种形成的层。通过上述结构，以中间层作为蚀刻停止层，能够除去检测部上部的层叠膜(30、32、33)，解决由其导致的灵敏度下降、残留应力变化等课题。
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公开(公告)号：CN101750123B
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN200910253536.3
申请日：2009-12-08
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
IPC: G01F1/692
CPC classification number: B81B3/0072 , B81B2201/0292 , B81B2203/0127 , G01F1/6845 , G01F1/692 , G01F1/699 , G01F5/00 , Y10T29/49083
Abstract: 本发明提供一种热式流体流量传感器及其制造方法。在具有由绝缘膜构成的薄膜结构部的热式流体流量传感器中，上述绝缘膜在精细加工的测温电阻体和发热电阻体的上下层叠有具有压缩应力的膜和具有拉伸应力的膜而成。对于发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)、上游侧测温电阻体(5A、5B)和下游侧测温电阻体(5C、5D)的下层的绝缘膜，交替层叠了具有压缩应力的膜(第一绝缘膜(14)、第三绝缘膜(16)和第五绝缘膜(18))和具有拉伸应力的膜(第二绝缘膜(15)和第四绝缘膜(17))，且配置了2层以上的具有拉伸应力的膜。利用本发明的热式流体流量传感器，能够消除应力不均衡，提高检测灵敏度且提高可靠性。
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公开(公告)号：CN102052942A
公开(公告)日：2011-05-11
申请号：CN201010509896.8
申请日：2010-10-13
Applicant: 日立汽车系统株式会社
Inventor： 佐久间宪之
CPC classification number: G01F1/6845 , G01F1/6842 , G01F1/692 , G01F1/6965 , G01F15/043 , Y10T29/49002
Abstract: 本发明以提供一种低成本的热式流体流量传感器，所述热式流体流量传感器具有形成于同一基板上的空气流量检测部和湿度检测部，能够校正湿度且测量精度高。在形成于半导体基板上的薄膜(16)内配置检测空气流量的发热电阻体(3)、发热电阻体用测温电阻体(4)及测温电阻体(5)、以及湿度检测用发热电阻体(9)，在该湿度检测用发热电阻体(9)上形成空洞层(14)，在空洞层(14)上形成保护膜，在保护膜中设置有到达空洞层(14)的多个孔(13)。
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