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公开(公告)号:CN1849853A
公开(公告)日:2006-10-18
申请号:CN200480026076.6
申请日:2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社
CPC classification number: B05D1/007 , B32B3/266 , B32B15/08 , H01L21/4867 , H01L2924/0002 , H05K3/125 , H05K3/245 , H05K3/4061 , H05K3/4647 , H05K2201/0367 , H05K2203/013 , H05K2203/105 , H05K2203/1131 , H05K2203/1476 , Y10T428/24322 , H01L2924/00
Abstract: 制备衬底的方法,包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形,然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
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公开(公告)号:CN102970829A
公开(公告)日:2013-03-13
申请号:CN201210117647.3
申请日:2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社 , SIJ技术株式会社
CPC classification number: B05D1/007 , B32B3/266 , B32B15/08 , H01L21/4867 , H01L2924/0002 , H05K3/125 , H05K3/245 , H05K3/4061 , H05K3/4647 , H05K2201/0367 , H05K2203/013 , H05K2203/105 , H05K2203/1131 , H05K2203/1476 , Y10T428/24322 , H01L2924/00
Abstract: 制备衬底的方法,包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形,然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
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公开(公告)号:CN1792127A
公开(公告)日:2006-06-21
申请号:CN200480013381.1
申请日:2004-05-13
Applicant: 播磨化成株式会社
IPC: H05K3/10 , H01L21/288
Abstract: 形成微细铜颗粒烧结产物类的微细形状导电体的方法,其中通过使用其表面上具有氧化物膜的铜颗粒的分散体绘制出微细图案,然后,在较低温度下,所得图案中其表面上具有氧化物膜层的微细铜颗粒或微细铜氧化物颗粒进行还原处理,然后将所得铜颗粒烧结。在一个实施方案中,其表面上具有氧化物膜层的微细铜颗粒或微细铜氧化物颗粒的分散体(所述微粒的平均粒径为10μm或更小)涂敷在基底上,所得涂敷层中的微粒在包含具有还原能力的化合物蒸汽或气体的气氛下加热到350℃或更低的温度,由此通过利用所述具有还原能力的化合物作为还原剂的还原作用使氧化膜还原,然后,进行一系列包括重复短时间氧化处理和再还原处理结合在一起的加热处理的加热步骤,因而由所得铜颗粒形成烧结产物。由上述方法形成的微细铜颗粒烧结产物类的微细形成导电体表现出优异的电导率。
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公开(公告)号:CN100519012C
公开(公告)日:2009-07-29
申请号:CN200480031492.5
申请日:2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , C09D5/24 , C09D17/006 , H01B1/02 , H01B1/22 , H05K2201/0257 , H05K2203/013
Abstract: 本发明提供一种分散液,其可以利用于具有极微细的图案形状并且截面形状的厚度与最小宽度的比率高的导电体层的形成,在以高精度描绘微细的图案形状时,具有可以适用喷墨法的高的流动性,作为导电体媒介而仅利用金属纳米粒子。根据本发明,作为能够以微细的液滴的形状喷射、进行层叠涂布的金属纳米粒子分散液,使平均粒子径1~100nm的金属纳米粒子在沸点80℃以上的分散溶媒中分散,分散溶媒的容积比率选择为55~80体积%的范围,分散液的液粘度(20℃),选择在2mPa·s~30mPa·s的范围,通过喷墨法等作为微细的液滴进行喷射时,在飞行期间,随着液滴中所含的分散溶媒蒸散而浓缩,作为浓稠的分散液,而可以涂布。
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公开(公告)号:CN102970829B
公开(公告)日:2016-01-20
申请号:CN201210117647.3
申请日:2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社 , SIJ技术株式会社
CPC classification number: B05D1/007 , B32B3/266 , B32B15/08 , H01L21/4867 , H01L2924/0002 , H05K3/125 , H05K3/245 , H05K3/4061 , H05K3/4647 , H05K2201/0367 , H05K2203/013 , H05K2203/105 , H05K2203/1131 , H05K2203/1476 , Y10T428/24322 , H01L2924/00
Abstract: 制备衬底的方法,包括通过利用精细喷墨方法在衬底的指定位置(1)将金属微粒淀积为柱形,然后烧结产物以形成金属柱(2)的步骤。
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公开(公告)号:CN100488339C
公开(公告)日:2009-05-13
申请号:CN200480013381.1
申请日:2004-05-13
Applicant: 播磨化成株式会社
IPC: H05K3/10 , H01L21/288
Abstract: 形成微细铜颗粒烧结产物类的微细形状导电体的方法,其中通过使用其表面上具有氧化物膜的铜颗粒的分散体绘制出微细图案,然后,在较低温度下,所得图案中其表面上具有氧化物膜层的微细铜颗粒或微细铜氧化物颗粒进行还原处理,然后将所得铜颗粒烧结。由上述方法形成的微细铜颗粒烧结产物类的微细形成导电体表现出优异的电导率。
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公开(公告)号:CN1871085A
公开(公告)日:2006-11-29
申请号:CN200480031492.5
申请日:2004-09-10
Applicant: 独立行政法人产业技术综合研究所 , 播磨化成株式会社
CPC classification number: H05K3/125 , C09D5/24 , C09D17/006 , H01B1/02 , H01B1/22 , H05K2201/0257 , H05K2203/013
Abstract: 本发明提供一种分散液,其可以利用于具有极微细的图案形状并且截面形状的厚度/最小宽度的比率高的导电体层的形成,在以高精度描绘微细的图案形状时,具有可以适用喷墨法的高的流动性,作为导电体媒介而仅利用金属纳米粒子。根据本发明,作为能够以微细的液滴的形状喷射、进行层叠涂布的金属纳米粒子分散液,使平均粒子径1~100nm的金属纳米粒子在沸点80℃以上的分散溶媒中分散,分散溶媒的容积比率选择为55~80体积%的范围,分散液的液粘度(20℃),选择在2mPa·s~30mPa·s的范围,通过喷墨法等作为微细的液滴进行喷射时,在飞行期间,随着液滴中所含的分散溶媒蒸散而浓缩,作为浓稠的分散液,而可以涂布。
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