公开(公告)号：CN102498558A

公开(公告)日：2012-06-13

申请号：CN201080035135.1

申请日：2010-07-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·杜鲍斯 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  S·巴录佳 ,  G·巴拉苏布拉马尼恩 ,  L·亚普 ,  J·周 ,  T·诺瓦克

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/68 ,  C23C16/4585 ,  H01J37/32091 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/6875

Abstract: 本发明提供加热腔室中的基板的方法与设备。一实施例中，该设备包括基板支撑组件，该基板支撑组件具有适以接收基板的支撑表面；及多个向心件，多个向心件用以在平行于支撑表面且相隔一距离处支撑该基板，并相对于实质垂直于支撑表面的参照轴让基板朝向中心。多个向心件沿着支撑表面周边而被可移动地放置，且多个向心件各自包括第一末端部分，该第一末端部分用以接触或支撑该基板的周围边缘。

公开(公告)号：CN102498558B

公开(公告)日：2016-03-30

申请号：CN201080035135.1

申请日：2010-07-26

Applicant: 应用材料公司

Inventor： D·R·杜鲍斯 ,  J·C·罗查-阿尔瓦雷斯 ,  S·巴录佳 ,  G·巴拉苏布拉马尼恩 ,  L·亚普 ,  J·周 ,  T·诺瓦克

IPC: H01L21/683 ,  H01L21/02 ,  H01L21/205

CPC classification number: H01L21/68 ,  C23C16/4585 ,  H01J37/32091 ,  H01L21/324 ,  H01L21/67103 ,  H01L21/68728 ,  H01L21/6875

Abstract: 本文提供加热腔室中的基板的方法与设备。一实施例中，该设备包括基板支撑组件，该基板支撑组件具有适以接收基板的支撑表面；及多个向心件，多个向心件用以在平行于支撑表面且相隔一距离处支撑该基板，并相对于实质垂直于支撑表面的参照轴让基板朝向中心。多个向心件沿着支撑表面周边而被可移动地放置，且多个向心件各自包括第一末端部分，该第一末端部分用以接触或支撑该基板的周围边缘。