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公开(公告)号:CN1685460A
公开(公告)日:2005-10-19
申请号:CN03823411.4
申请日:2003-07-30
Applicant: 学校法人浦项工科大学校
CPC classification number: H01J21/105 , H01J9/025
Abstract: 通过使用阳极氧化工艺来制造一种具有三极管结构的电场发射器件。该器件包括支撑衬底、用作该器件的阴极的底部电极层、具有多个第一亚微米孔的栅极绝缘层、具有连接到第一亚微米孔的多个第二亚微米孔的栅电极层、具有连接到第二亚微米孔的多个第三亚微米孔的阳极绝缘层、用作该器件阳极并用于密闭地密封该器件的顶部电极层、以及在第一亚微米孔中形成的多个发射器。发射器形成为与该器件的电极尽可能地紧密接触,这导致降低器件的驱动电压。
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公开(公告)号:CN100554137C
公开(公告)日:2009-10-28
申请号:CN200610164646.9
申请日:2006-10-27
Applicant: 学校法人浦项工科大学校 , 浦项工科大学校产学协力团
CPC classification number: B81C1/0015 , G01N29/036 , G01N2291/0256
Abstract: 本发明提供具有通过阳极氧化制备的纳米尺寸孔的多比例悬臂结构及其制备方法。使用阳极氧化和电抛光制备多比例悬臂结构,以便制造过程是简单的,并且制造成本是廉价的。此外,多比例悬臂结构具有多个纳米尺寸孔在其内部的多孔结构,因此可以最大化该悬臂结构的表面积。因此,当在传感器中使用这种悬臂结构时,该传感器可以具有改进的灵敏度和选择性。
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公开(公告)号:CN1966393A
公开(公告)日:2007-05-23
申请号:CN200610164646.9
申请日:2006-10-27
Applicant: 学校法人浦项工科大学校 , 浦项工科大学校产学协力团
CPC classification number: B81C1/0015 , G01N29/036 , G01N2291/0256
Abstract: 本发明提供具有通过阳极氧化制备的纳米尺寸孔的多比例悬臂结构及其制备方法。使用阳极氧化和电抛光制备多比例悬臂结构,以便制造过程是简单的,并且制造成本是廉价的。此外,多比例悬臂结构具有多个纳米尺寸孔在其内部的多孔结构,因此可以最大化该悬臂结构的表面积。因此,当在传感器中使用这种悬臂结构时,该传感器可以具有改进的灵敏度和选择性。
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公开(公告)号:CN100541700C
公开(公告)日:2009-09-16
申请号:CN03823411.4
申请日:2003-07-30
Applicant: 学校法人浦项工科大学校
CPC classification number: H01J21/105 , H01J9/025
Abstract: 通过使用阳极氧化工艺来制造一种具有三极管结构的电场发射器件。该器件包括支撑衬底、用作该器件的阴极的底部电极层、具有多个第一亚微米孔的栅极绝缘层、具有连接到第一亚微米孔的多个第二亚微米孔的栅电极层、具有连接到第二亚微米孔的多个第三亚微米孔的阳极绝缘层、用作该器件阳极并用于密闭地密封该器件的顶部电极层、以及在第一亚微米孔中形成的多个发射器。发射器形成为与该器件的电极尽可能地紧密接触,这导致降低器件的驱动电压。
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公开(公告)号:CN100481299C
公开(公告)日:2009-04-22
申请号:CN200380108868.3
申请日:2003-12-26
Applicant: 学校法人浦项工科大学校
IPC: H01J1/30
CPC classification number: H01J31/127 , H01J2201/304 , H01J2329/00
Abstract: 提供了一种具有集成三极管(triode)结构的场致发射显示器(FED)。可以制造该FED,而无需使用复杂的封装处理,并且具有相当程度缩减的阱直径和相当程度缩减的阴极到阳极间距。在该FED中,前后面板使用阳极绝缘层作为中间体,形成单独的腔体。还提供了一种使用阳极氧化来制造所述FED的方法。
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公开(公告)号:CN1739178A
公开(公告)日:2006-02-22
申请号:CN200380108868.3
申请日:2003-12-26
Applicant: 学校法人浦项工科大学校
IPC: H01J1/30
CPC classification number: H01J31/127 , H01J2201/304 , H01J2329/00
Abstract: 提供了一种具有集成三极管(triode)结构的场致发射显示器(FED)。可以制造该FED,而无需使用复杂的封装处理,并且具有相当程度缩减的阱直径和相当程度缩减的阴极到阳极间距。在该FED中,前后面板使用阳极绝缘层作为中间体,形成单独的腔体。还提供了一种使用阳极氧化来制造所述FED的方法。
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