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公开(公告)号：CN100541700C
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：CN03823411.4
申请日：2003-07-30
Applicant: 学校法人浦项工科大学校
CPC classification number: H01J21/105 , H01J9/025
Abstract: 通过使用阳极氧化工艺来制造一种具有三极管结构的电场发射器件。该器件包括支撑衬底、用作该器件的阴极的底部电极层、具有多个第一亚微米孔的栅极绝缘层、具有连接到第一亚微米孔的多个第二亚微米孔的栅电极层、具有连接到第二亚微米孔的多个第三亚微米孔的阳极绝缘层、用作该器件阳极并用于密闭地密封该器件的顶部电极层、以及在第一亚微米孔中形成的多个发射器。发射器形成为与该器件的电极尽可能地紧密接触，这导致降低器件的驱动电压。
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