照明装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110214260A

    公开(公告)日:2019-09-06

    申请号:CN201880007755.0

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 照明装置(2)生成干涉条纹(3)。输入臂(10)接收来自光源(80)的输入光。分波器(40)使通过了输入臂10的输入光向第一输出臂(20)和第二输出臂(30)分支。相位调制器(50)使第一输出臂(20)的出射光与第二输出臂(30)的出射光之间的相位差变化。相位检测器(60)根据第一输出臂(20)的前端处的第一反射光L41与第二输出臂(30)的前端处的第二反射光L42合成而得的返回光L5,检测第一输出臂(20)的出射光L31与第二输出臂(30)的出射光L32之间的相位差。

    条纹投影装置和条纹投影装置的控制方法

    公开(公告)号:CN110291449B

    公开(公告)日:2023-01-03

    申请号:CN201880007076.3

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 本发明提供条纹投影装置和条纹投影装置的控制方法,相位调制器(10)具有:一个以上的波导,所述一个以上的波导设置在基板(12)上,且至少包含第1波导(21);以及多个加热器,它们设置在基板(12)上。多个加热器包含:第1加热器(31),其对第1波导(21)进行加热;以及第2加热器(32),其对与第1波导(21)分离的位置进行加热,以使多个加热器的耗电的合计值恒定的方式进行驱动。也可以以使第1加热器(31)的耗电的变化量与第2加热器(32)的耗电的变化量相抵消的方式对多个加热器进行驱动。

    照明装置
    6.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110214260B

    公开(公告)日:2021-11-05

    申请号:CN201880007755.0

    申请日:2018-01-25

    Abstract: 照明装置(2)生成干涉条纹(3)。输入臂(10)接收来自光源(80)的输入光。分波器(40)使通过了输入臂10的输入光向第一输出臂(20)和第二输出臂(30)分支。相位调制器(50)使第一输出臂(20)的出射光与第二输出臂(30)的出射光之间的相位差变化。相位检测器(60)根据第一输出臂(20)的前端处的第一反射光L41与第二输出臂(30)的前端处的第二反射光L42合成而得的返回光L5,检测第一输出臂(20)的出射光L31与第二输出臂(30)的出射光L32之间的相位差。

    照明装置和计测装置
    7.
    发明公开

    公开(公告)号:CN107613842A

    公开(公告)日:2018-01-19

    申请号:CN201580080107.4

    申请日:2015-05-29

    Inventor: 渡边大智

    Abstract: 照明装置具有:光源部,其包含射出具有相干性的光的半导体激光器(101);偏振光分离部,其包含金红石(111)、1/2相位差膜(112)和金红石(113),该偏振光分离部根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离;以及投影偏振光切换机构,其包含1/2波片单元(105)、1/4波片单元(107)以及偏振光膜(114),该投影偏振光切换机构使从偏振光分离部射出并投影的光在透过了由偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。由此,能够提供将观察用照明和计测用照明的光源以及光学系统共用化的小型的照明装置以及使用了该照明装置的计测装置。

    照明装置和计测装置
    9.
    发明授权

    公开(公告)号:CN107613842B

    公开(公告)日:2019-09-24

    申请号:CN201580080107.4

    申请日:2015-05-29

    Inventor: 渡边大智

    Abstract: 照明装置具有:光源部,其包含射出具有相干性的光的半导体激光器(101);偏振光分离部,其包含金红石(111)、1/2相位差膜(112)和金红石(113),该偏振光分离部根据所入射的光的偏振方向对光路进行分离;以及投影偏振光切换机构,其包含1/2波片单元(105)、1/4波片单元(107)以及偏振光膜(114),该投影偏振光切换机构使从偏振光分离部射出并投影的光在透过了由偏振光分离部分离出的各个光路后的光的偏振光成分与透过了任意一个光路后的光的偏振光成分之间进行切换。由此,能够提供将观察用照明和计测用照明的光源以及光学系统共用化的小型的照明装置以及使用了该照明装置的计测装置。

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