公开(公告)号：CN108884553A

公开(公告)日：2018-11-23

申请号：CN201780021664.8

申请日：2017-03-29

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 武田裕正 ,  荒木亘 ,  坂口一哉 ,  大藤克子 ,  户塚巡 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C22C14/00 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的钛合金覆膜由(Ti1‑aMoa)1‑xNx表示，满足0.04≤a≤0.32和0.40≤x≤0.60，并且硬度满足至少3000HV的条件。本发明的钛合金靶材由Ti1‑aMoa表示，满足0.04≤a≤0.32，并且当在靶材的表面处测定X射线衍射图时，未检测到由Mo的单一金属相产生的衍射峰强度。

公开(公告)号：CN116904940A

公开(公告)日：2023-10-20

申请号：CN202310365619.1

申请日：2023-04-07

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 户塚巡 ,  下村恭平

IPC: C23C14/34 ,  C22C9/06 ,  C22C19/03 ,  C23C14/08 ,  C23C14/35

Abstract: 本发明涉及一种溅射用靶材，具有由CuaNibCoc表示的组成，a以at％表示Cu的比率、b以at％表示Ni的比率、c以at％表示Co的比率，a+b+c＝100、0.30≤a/(a+b+c)≤0.70、10≤b≤65、0.1≤c；以及一种黑化膜，由组成由(CuaNibCoc)100‑xOx表示的金属氧化物构成，a以at％表示Cu的比率、b以at％表示Ni的比率、c以at％表示Co的比率、x以at％表示O的比率，其特征在于，a+b+c＝100、0.30≤a/(a+b+c)≤0.70、10≤b≤65、0.1≤c、30≤x≤50。

公开(公告)号：CN118581430A

公开(公告)日：2024-09-03

申请号：CN202410227154.8

申请日：2024-02-29

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 户塚巡

IPC: C23C14/34 ,  C22C9/06 ,  C23C14/06

Abstract: 本发明涉及溅射用的靶材，具有由CuaNibCoc表示的组成，所述a、b、c分别以at％计表示Cu、Ni、Co的比率，a＝100‑b‑c，5≤b≤20，0.1≤c≤10，c

公开(公告)号：CN108884553B

公开(公告)日：2021-02-23

申请号：CN201780021664.8

申请日：2017-03-29

Applicant: 大同特殊钢株式会社

Inventor： 武田裕正 ,  荒木亘 ,  坂口一哉 ,  大藤克子 ,  户塚巡 ,  南和希

IPC: C23C14/06 ,  C22C14/00 ,  C23C14/24

Abstract: 本发明的钛合金覆膜由(Ti1‑aMoa)1‑xNx表示，满足0.04≤a≤0.32和0.40≤x≤0.60，并且硬度满足至少3000HV的条件。本发明的钛合金靶材由Ti1‑aMoa表示，满足0.04≤a≤0.32，并且当在靶材的表面处测定X射线衍射图时，未检测到由Mo的单一金属相产生的衍射峰强度。