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公开(公告)号：CN1705843A
公开(公告)日：2005-12-07
申请号：CN200380101837.5
申请日：2003-10-15
IPC: F16K27/00
CPC classification number: F16K31/0655 , F16K27/003 , Y10T137/87885
Abstract: 提供一种携带气体没有紊流部分，使流到该携带气体内的工艺气体不扩散的集成气阀。集成气阀(1)构成如下：由致动器(31)使阀体(33)相对阀座(34)抵接·离开并进行阀孔(35)和阀室(36)的连通·遮断的开闭阀(30)，具有在途中与阀孔(35)分叉地贯通阀主体(12)而形成的第1流路(26)、以及从入口连通阀室并形成在阀主体(12)上的第2流路(29)，通过将多个这种开闭阀连设成一列，构成上述第1流路彼此直接或通过连接流路(27)串连连接成的主流路(23)，各个开闭阀的第2流路(29)通过阀室(36)和阀孔(35)而相对这种主流路(23)连接。
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公开(公告)号：CN100339629C
公开(公告)日：2007-09-26
申请号：CN200380101837.5
申请日：2003-10-15
IPC: F16K27/00
CPC classification number: F16K31/0655 , F16K27/003 , Y10T137/87885
Abstract: 提供一种携带气体没有紊流部分，使流到该携带气体内的工艺气体不扩散的集成气阀。集成气阀(1)构成如下：由致动器(31)使阀体(33)相对阀座(34)抵接或离开并进行阀孔(35)和阀室(36)的连通或遮断的开闭阀(30)，具有在途中与阀孔(35)分叉地贯通阀主体(12)而形成的第1流路(26)、以及从入口连通阀室并形成在阀主体(12)上的第2流路(29)，通过将多个这种开闭阀连设成一列，构成上述第1流路彼此直接或通过连接流路(27)串连连接成的主流路(23)，各个开闭阀的第2流路(29)通过阀室(36)和阀孔(35)而相对这种主流路(23)连接。
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公开(公告)号：CN101210317B
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN200710194075.8
申请日：2007-11-30
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: C23C16/44 , H01L21/00 , H01L21/205 , H01L21/285
Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。
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公开(公告)号：CN101210317A
公开(公告)日：2008-07-02
申请号：CN200710194075.8
申请日：2007-11-30
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: C23C16/44 , H01L21/00 , H01L21/205 , H01L21/285
Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。
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公开(公告)号：CN101725752B
公开(公告)日：2012-09-26
申请号：CN200910174923.8
申请日：2009-11-03
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101073141B
公开(公告)日：2012-06-27
申请号：CN200580006774.4
申请日：2005-01-20
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F17C13/04 , F17D1/04 , H01L21/02 , H01L21/205
Abstract: 本发明课题是提供一种可以容易地增设线路的气体供给集成单元。作为解决该课题的手段，其具有多个气体单元，所述气体单元通过流路块串连一体连接有：在出口流路设置的第一手动阀11；在上述第一手动阀和过程气体共同流路15连通的位置上设置的第二手动阀13；和在第一手动阀11和清洁气体共同流路16连通的位置上设置的第三手动阀14，在该气体供给集成单元中，具有与过程气体共同流路15的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀22、和与清洁气体共同流路16的端部连通的清洁气体共同流路端部手动阀23。
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公开(公告)号：CN101725752A
公开(公告)日：2010-06-09
申请号：CN200910174923.8
申请日：2009-11-03
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: F16K27/00
Abstract: 本发明提供一种气体供给装置及块状凸缘，该气体供给装置能够供给复杂的工艺气体，能够减小地面占有面积。在具有第一线路及第二线路的气体供给装置(1)中，该第一线路与第一质量流控制器(MB)连接，该第二线路与第二质量流控制器(MC)连接，该第一线路具有供给气体A的第一开闭阀(VB3)及供给气体C的第二开闭阀(VB2)，该第二线路具有供给气体B的第三开闭阀(VC3)及供给气体D的第四开闭阀(VC2)，在气体供给装置(1)中，气体A和气体B是相同的气体。
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公开(公告)号：CN101073141A
公开(公告)日：2007-11-14
申请号：CN200580006774.4
申请日：2005-01-20
Applicant: 喜开理株式会社
CPC classification number: F17C13/04 , F17D1/04 , H01L21/02 , H01L21/205
Abstract: 本发明课题是提供一种可以容易地增设线路的气体供给集成单元。作为解决该课题的手段，其具有多个气体单元，所述气体单元通过流路块串连一体连接有：在出口流路设置的第一手动阀11；在上述第一手动阀和过程气体共同流路15连通的位置上设置的第二手动阀13；和在第一手动阀11和清洁气体共同流路16连通的位置上设置的第三手动阀14，在该气体供给集成单元中，具有与过程气体共同流路15的端部连通的过程气体共同流路端部手动阀22、和与清洁气体共同流路16的端部连通的清洁气体共同流路端部手动阀23。
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公开(公告)号：CN1950931A
公开(公告)日：2007-04-18
申请号：CN200580014989.0
申请日：2005-04-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: C23C16/45561 , C23C16/455 , F17D1/04 , Y02E60/34
Abstract: 本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板15之间。
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公开(公告)号：CN100440454C
公开(公告)日：2008-12-03
申请号：CN200580014989.0
申请日：2005-04-15
Applicant: 喜开理株式会社
IPC: H01L21/31 , C23C16/455 , F17D1/04
CPC classification number: C23C16/45561 , C23C16/455 , F17D1/04 , Y02E60/34
Abstract: 本发明目的在于提供一种对在常温常压下容易液化的过程气体进行加热保温同时进行供给的气体供给集成单元。设在出口流路上的第一手动阀22、设在用于连通该第一手动阀22和过程气体共用流路44的位置上的气动阀26、以及用于连通该第一手动阀22和清洁气体共用流路43的位置上的第二手动阀25通过流路块46和单元固定板15串联连成一体而构成气体单元，所述气体供给集成单元包括多个气体单元，其中设有：保持部件18，截面呈コ字形，嵌合有流路块46和单元固定板15；和平面加热器16，夹持固定在保持部件18与流路块46及所述单元固定板15之间。
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