公开(公告)号：CN101210317B

公开(公告)日：2010-07-28

申请号：CN200710194075.8

申请日：2007-11-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 荻原立典 ,  井上贵史 ,  稻垣竹矢

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。

公开(公告)号：CN101210317A

公开(公告)日：2008-07-02

申请号：CN200710194075.8

申请日：2007-11-30

Applicant: 喜开理株式会社

Inventor： 荻原立典 ,  井上贵史 ,  稻垣竹矢

IPC: C23C16/44 ,  H01L21/00 ,  H01L21/205 ,  H01L21/285

Abstract: 本发明提供一种可以减小底座空间的气体集成单元。在气体集成单元中，设有：第一气体单元(72A、72B、72C)，控制第一气体的供给；第二气体单元(73)，与第一气体单元(72A、72B、72C)连接并通过多个流体控制部件(31～34、38A～43A、38B～43B、38C～43C)控制汇合至第一气体单元(72A、72B、72C)的清扫气体；和层叠块(61A、61B、61C)，叠置在第一气体单元(72A、72B、72C)上，并且，将流体控制部件的一部分(38A、38B、38C)叠置在层叠块(61A、61B、61C)上。