基于单幅SEM二维图像的三维信息快速提取方法

    公开(公告)号:CN104331921A

    公开(公告)日:2015-02-04

    申请号:CN201410592610.5

    申请日:2014-10-29

    CPC classification number: G06K9/4671 G06K9/00201

    Abstract: 基于单幅SEM二维图像的三维信息快速提取方法,涉及三维信息提取技术领域。解决了在纳米研究领域,对目标物体的位置及高度进行测量时,通常需要借助第三方设备,但由于存在尺寸效应,容易出现纳米操作困难、测量精度低的问题。基于单幅SEM二维图像的三维信息快速提取方法包括以下步骤:步骤一、采用OpenCV建立SEM二维图像的目标识别文件;步骤二、使用目标识别文件对图像进行兴趣区域快速识别,提取物体在SEM二维图像中的二维位置信息;步骤三、获得目标物体的高度。本发明对实时图像的处理速度极快,通过使用单幅二维图像,在不需要添加其他设备的情况下实现三维信息的提取。本发明适用于对三维信息进行提取。

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