单腔体等离子体气相沉积真空加热钎焊炉

    公开(公告)号:CN218135539U

    公开(公告)日:2022-12-27

    申请号:CN202222404029.9

    申请日:2022-09-09

    Abstract: 单腔体等离子体气相沉积真空加热钎焊炉,它涉及钎焊炉。解决现有钎焊装置中不能实现等离子体沉积与钎焊连接一体化的问题。单腔体等离子体气相沉积真空加热钎焊炉,它包括等离子体激发装置、连通软管、加压装置、真空腔、通气加压杆、加热装置、加压头及载物台,加热装置及加压头设置于真空腔内,且加热装置设置于载物台外围,载物台正上方设有加压头,加压头与通气加压杆底部相连接,通气加压杆顶部穿出真空腔并与加压装置相连接,连通软管出气口与位于真空腔外的通气加压杆部分的内腔相连通,连通软管进气口与等离子体激发装置相连通。

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