公开(公告)号：CN113835305A

公开(公告)日：2021-12-24

申请号：CN202111108262.6

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  韦威威 ,  赵鹏越 ,  李昌其 ,  刘海朝 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20 ,  H05K7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板冷却装置，包括至少两个冷却板，电路板贴合于所述冷却板，所述冷却板内设有冷却水路，至少两个所述冷却板的所述冷却水路相连通，其中一个所述冷却板上设有进水口，另一个所述冷却板上设有出水口，所述进水口及所述出水口均设有温度传感器，所述冷却水路均包括相连通的主水路和辅水路。本发明通过设置主水路和辅水路，主水路用于电路板的常规冷却，辅水路对应电路板中发热较多部位设置，增大发热部位与冷却水路的接触面积，提高冷却效率。同时，通过设置在进水口与出水口的温度传感器的水温反馈，实时调整冷却液的流量，实现了对电路板温度的精确控制。

公开(公告)号：CN113820924B

公开(公告)日：2022-06-28

申请号：CN202111110624.5

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  郑健 ,  王继尧 ,  潘健生 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。

公开(公告)号：CN113939171A

公开(公告)日：2022-01-14

申请号：CN202111108254.1

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  李昌其 ,  韦威威 ,  王继尧 ,  谭久彬

IPC: H05K9/00 ,  H05K7/20 ,  G03F7/20

Abstract: 本发明涉及半导体加工设备技术领域，公开了一种光刻机电路板水冷屏蔽装置，包括盒体，所述盒体包括相对设置的两块水冷屏蔽板，电路板贴合于所述水冷屏蔽板的内表面，所述水冷屏蔽板内设有冷却水路，且两块所述水冷屏蔽板的所述冷却水路相连通，其中一个所述水冷屏蔽板上设有进水口，另一个所述水冷屏蔽板上设有出水口。本发明通过在盒体的两块水冷屏蔽板上各设置一个电路板，实现了两块电路板的同时冷却，从而减小了冷却装置的体积，提高了光刻机的空间利用率。同时，由于每个水冷屏蔽板的内部均设有冷却水路，既保证了每个电路板的冷却需要，又提高了冷却效率。且电路板设于金属水冷屏蔽板的内表面，可屏蔽电路板受到的电磁干扰信号。

公开(公告)号：CN113820924A

公开(公告)日：2021-12-21

申请号：CN202111110624.5

申请日：2021-09-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 吴剑威 ,  刘海朝 ,  赵鹏越 ,  郑健 ,  王继尧 ,  潘健生 ,  谭久彬

IPC: G03F7/20

Abstract: 本发明提供了一种光刻机的微动平台，涉及微动台领域。光刻机的微动平台包括底座、驱动机构和运动座，运动座间隔设于底座上侧，驱动机构安装于底座和运动座之间；驱动机构包括至少三个周向间隔布置的驱动件，驱动件的驱动方向垂直于运动座的支撑平面，且驱动件的驱动端与运动座柔性连接；底座与运动座之间设有至少三个高度传感器和至少三个平面传感器，至少三个高度传感器和平面传感器分布于运动座的边角位置，高度传感器检测运动座的高度位移，平面传感器检测运动座的平面位移，且至少三个平面传感器的检测方向呈相交布置。本专利实现了运动座的Z向、RX向和RY向运动，提高了微动平台六自由度运动的控制精度，提高了微动平台的运动平稳性和精度。