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公开(公告)号：CN104267597A
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN104201963B
公开(公告)日：2017-01-18
申请号：CN201410460927.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器，属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器，采用迭代控制器的方法，对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿，其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时，由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销，将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化，可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。
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公开(公告)号：CN104181901B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201410448520.9
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104267597B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201410448517.7
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 超精密运动平台机械谐振的抑制方法，属于运动平台机械谐振的抑制领域。为了解决目前的超精密运动平台的机械谐振抑制效果差的问题。包括：根据运动平台的宏微耦合力学模型，建立六自由度精密运动平台y向宏微耦合的模型；采用自适应实数编码遗传算法辨识出建立的宏微耦合模型的未知参数，进而分别建立宏动台和微动台的机械谐振模型，再采用自适应实数编码遗传算法辨识出机械谐振模型中未知参数，获得宏动台的4个机械谐振模型和微动台的2个机械谐振模型；进而获得宏动台的4个陷波器和微动台的2个陷波器；将宏动台的4个陷波器和宏动台串联，将微动台的2个陷波器和微动台串联，完成宏动台和微动台机械谐振的抑制。它用于抑制运动平台机械谐振。
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公开(公告)号：CN104360639A
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201410469166.8
申请日：2014-09-16
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/414
CPC classification number: G05B19/414
Abstract: 基于VME自定义总线的多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据的方法，属于运动控制的信号采集与数据通信技术领域。为了解决多运动控制卡同时读取光栅尺数据时，存在竞争冒险、相互干扰和实时同步性能差的问题。方法包括：单一运动控制卡输出同步时钟信号，当VME自定义总线产生的读信号为低电平，发送所需光栅尺数据的地址，并通过VME自定义总线接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；其他运动控制卡读取同步时钟信号，当同步时钟信号为上升沿，获取所需光栅尺数据的地址，且与单一运动控制卡同步接收相应地址发送的光栅尺数据的步骤；当VME自定义总线接收到时钟信号时，生成采样保持信号、读取信号和地址信号的步骤。它用于控制多运动控制卡实时同步读取光栅尺数据。
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公开(公告)号：CN104201963A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410460927.3
申请日：2014-09-11
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H02P21/14
Abstract: 一种抑制直线电机定位力补偿控制器，属于电机补偿控制领域。为了解决目前的补偿控制器结构复杂且控制周期长反应速度慢的问题。本发明的补偿控制器，采用迭代控制器的方法，对永磁同步直线电机的推力波动进行在线补偿，其中补偿控制器采用了PI与重复控制相结合的方式进行设计。这种方法避免了利用扰动模型进行补偿控制时，由复杂的数学模型或者冗杂的建模数据带来的系统开销，将非线性的直线电机推力波动补偿控制大幅简化，可以有效降低控制周期进而提升系统的反应速度。它用于直线电机的定位力补偿。
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公开(公告)号：CN104200033A
公开(公告)日：2014-12-10
申请号：CN201410455326.3
申请日：2014-09-09
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 基于FPGA和DSP的高速电路板串口的调试方法，属于电路板串口调试领域。为了解决目前的硬件仿真器对电路板串口进行调试时易出错的问题。所述方法是基于FPGA、DSP和CPLD实现的，所述方法包括：采用FPGA确定运行DSP进行串口调试的时序，所述时序包括接收时序和发送时序的步骤；根据确定的时序，采用DSP实现串口调试的步骤；采用CPLD为DSP和FPGA提供正常的电平范围的步骤。它用于电路板的串口调试。
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公开(公告)号：CN104181901A
公开(公告)日：2014-12-03
申请号：CN201410448520.9
申请日：2014-09-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G05B19/418
CPC classification number: Y02P90/02
Abstract: 基于VxWorks上位机集中管理多级控制系统，属于多板卡之间通信以及同步控制领域。为了解决现有的控制系统对光刻机实际运行中多板卡之间通信以及同步协调控制能力差的问题。它包括它包括基于VxWorks的上位机、工控机、VME总线、次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C及实现各功能的板卡。通过基于VxWorks的上位机向次主控卡A、次主控卡B、次主控卡C发送指令进行通信以及同步控制，次主控卡A、次主控卡B和次主控卡C分别控制相应的板卡通信以及同步，实现多级控制。本发明用于光刻机在实际运行中多板卡之间通信以及同步控制。
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