高精度立式气浮转台自动配平装置及配平方法

    公开(公告)号:CN104848989A

    公开(公告)日:2015-08-19

    申请号:CN201510288757.X

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 高精度立式气浮转台自动配平装置及配平方法,属于转台配平技术领域。本发明是为了解决立式气浮转台旋转部件因重心偏离旋转轴线而影响转台干扰力矩指标的问题。装置的载荷安装盘上固联有效载荷,载荷安装盘的下表面连接气浮轴,气浮轴对应设置在气浮转台主体的上表面中心处,气浮转台主体的底面与气浮转台基座固定连接,气浮转台基座通过气浮转台高度调节支撑支撑;x轴配平电机和y轴配平电机通过调整对应的配重块实现装置调平;方法中通过调节一个气浮转台高度调节支撑,使载荷安装盘的对应位置为水平方位的最低点,测量获得当前转台倾角,然后获得载荷安装盘的当前重心所在直线位置,再进一步获得配重块的移动距离。本发明用于转台自动配平。

    主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承

    公开(公告)号:CN104533956B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201510033101.3

    申请日:2015-01-22

    Abstract: 主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承,属于气浮式超精密轴承技术领域。本发明是为了解决气浮轴承采用反复检测、研磨及装配的方式提高其精度,执行难度大周期长,并且精度提高幅度有限的问题。它安装于负载和基座之间,用于实现负载相对于基座的高精度回转运动;气浮轴承包括气浮轴、气浮轴套、封气套、泄气孔、径向节流孔、O型密封圈、顺时针主动涡流供气气腔、气浮轴承供气孔、止推面节流孔、逆时针主动涡流供气气腔、逆时针主动涡流供气孔、逆时针主动涡流非径向节流孔、顺时针主动涡流非径向节流孔和顺时针主动涡流供气孔。本发明为一种主动补偿式气浮轴承。

    节流嘴直供气单浮板气足

    公开(公告)号:CN104863961B

    公开(公告)日:2017-11-17

    申请号:CN201510263255.1

    申请日:2015-05-21

    Abstract: 节流嘴直供气单浮板气足,属于气足技术领域。本发明是为了解决现有气足结构复杂、节流嘴更换不便的问题。它包括气足基板、节流嘴、环形供气管、紧固连接孔、快速连接三通、节流嘴供气管和进气管,气足基板与气浮平台相配合设置,气足基板上沿径向的中段位置沿圆周方向均匀设置N个螺纹孔,N为大于或者等于3的整数,每个螺纹孔内对应配合安装一个节流嘴,每个节流嘴对应插入一个节流嘴供气管的首端,每个节流嘴供气管的末端通过一个快速连接三通与环形供气管连通,环形供气管与进气管连接;气足基板的上表面中心处,沿圆周方向均匀设置多个紧固连接孔。本发明为一种气足。

    高精度立式气浮转台自动配平装置的自动配平方法

    公开(公告)号:CN104848989B

    公开(公告)日:2017-07-28

    申请号:CN201510288757.X

    申请日:2015-05-29

    Abstract: 高精度立式气浮转台自动配平装置及配平方法,属于转台配平技术领域。本发明是为了解决立式气浮转台旋转部件因重心偏离旋转轴线而影响转台干扰力矩指标的问题。装置的载荷安装盘上固联有效载荷,载荷安装盘的下表面连接气浮轴,气浮轴对应设置在气浮转台主体的上表面中心处,气浮转台主体的底面与气浮转台基座固定连接,气浮转台基座通过气浮转台高度调节支撑支撑;x轴配平电机和y轴配平电机通过调整对应的配重块实现装置调平;方法中通过调节一个气浮转台高度调节支撑,使载荷安装盘的对应位置为水平方位的最低点,测量获得当前转台倾角,然后获得载荷安装盘的当前重心所在直线位置,再进一步获得配重块的移动距离。本发明用于转台自动配平。

    节流嘴直供气单浮板气足

    公开(公告)号:CN104863961A

    公开(公告)日:2015-08-26

    申请号:CN201510263255.1

    申请日:2015-05-21

    Abstract: 节流嘴直供气单浮板气足,属于气足技术领域。本发明是为了解决现有气足结构复杂、节流嘴更换不便的问题。它包括气足基板、节流嘴、环形供气管、紧固连接孔、快速连接三通、节流嘴供气管和进气管,气足基板与气浮平台相配合设置,气足基板上沿径向的中段位置沿圆周方向均匀设置N个螺纹孔,N为大于或者等于3的整数,每个螺纹孔内对应配合安装一个节流嘴,每个节流嘴对应插入一个节流嘴供气管的首端,每个节流嘴供气管的末端通过一个快速连接三通与环形供气管连通,环形供气管与进气管连接;气足基板的上表面中心处,沿圆周方向均匀设置多个紧固连接孔。本发明为一种气足。

    主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承

    公开(公告)号:CN104533956A

    公开(公告)日:2015-04-22

    申请号:CN201510033101.3

    申请日:2015-01-22

    Abstract: 主动补偿式低涡流轴动式气浮轴承,属于气浮式超精密轴承技术领域。本发明是为了解决气浮轴承采用反复检测、研磨及装配的方式提高其精度,执行难度大周期长,并且精度提高幅度有限的问题。它安装于负载和基座之间,用于实现负载相对于基座的高精度回转运动;气浮轴承包括气浮轴、气浮轴套、封气套、泄气孔、径向节流孔、O型密封圈、顺时针主动涡流供气气腔、气浮轴承供气孔、止推面节流孔、逆时针主动涡流供气气腔、逆时针主动涡流供气孔、逆时针主动涡流非径向节流孔、顺时针主动涡流非径向节流孔和顺时针主动涡流供气孔。本发明为一种主动补偿式气浮轴承。

Patent Agency Ranking