公开(公告)号：CN104914682A

公开(公告)日：2015-09-16

申请号：CN201510353872.0

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  韩记晓 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  张常江 ,  刘洋 ,  赵为志 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  陈震宇

IPC: G03F7/20

Abstract: 光刻机换台过程中公转电机残留震荡抑制的控制方法，它属于光刻机双工件台框架运动控制的高精度快速定位控制的技术领域。它的方法步骤为：一：在线状态下给公转电机施加阶跃给定，幅值为10度，通过上位机保存公转电机在该给定下的运行曲线数据；二：把上位机保存的曲线数据，作为simulink仿真中的Y_，进行离线整形；三：在离线情况下，运用改进的蚁群算法得到最优输入整形器参数；四：给公转电机施加S曲线给定，目标位置为30度，利用得到的最优输入整形器参数在在线状态下进行输入整形，直接对输入进行整形，对公转电机进行开环前馈控制。本发明能对公转电机的S曲线给定进行输入整形，可以使公转电机实现快速定位，定位时间由6S减少到2S。

公开(公告)号：CN105119907A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510433632.1

申请日：2015-07-22

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋跃 ,  王一光 ,  张常江 ,  何良辰 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  赵为志 ,  陈震宇 ,  韩记晓

IPC: H04L29/06

CPC classification number: H04L69/02

Abstract: 一种基于FPGA的BiSS-C通信协议方法，本发明属于传感器与控制卡之间传输通信的技术领域。它的方法步骤一：FPGA模块的时钟信号MA通过RS422接口发送到外部光栅式传感器的时钟输入端；步骤二：时钟信号MA的上升沿触发外部光栅式传感器的数据信号发送；步骤三：FPGA模块判断每一帧数据信号的Start位是否为高电平和“0”位是否为低电平，如果不是，则继续等待下一帧数据，如果是，则每一个时钟MA的上升沿串口接收一位数据；步骤四：将完整的一帧数据存储到FPGA模块的双口RAM储存器内；步骤五：双口RAM储存器内的数据实时的传送到DSP模块内。本发明属于硬件解码，FPGA解码能实现数据通信和寄存器两种功能，既能完成通信，又能存储数据，存储的数据用于其他程序的处理。

公开(公告)号：CN105068386A

公开(公告)日：2015-11-18

申请号：CN201510561426.9

申请日：2015-09-07

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  万勇利 ,  张常江 ,  董岳 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  赵为志 ,  韩记晓

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统安全保护方法，它属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤一：在多个多路运动控制卡内分别设置多组字节大小的双口RAM；二：多个多路运动控制卡中的FPGA以200us采样周期，通过VME工控机中的VME自定义总线从信号采集卡获取各电机的位置信息，并存放在相应的双口RAM内；三：嵌入式主控CPU板通过VME总线获取各多路运动控制卡内各电机的位置及位置误差信息；四：上位机通过以太网接收来自嵌入式主控CPU板的数据，并判断数据类型，当该数据为故障代码时，弹出对话框，提示用户出现故障，并显示故障代码。本发明基于VxWorks操作系统与VME总线工作，在系统某一机构发生故障时，利用软件使本机构和其他机构停止运行，保障了双工件台系统的安全运行。

公开(公告)号：CN104950768A

公开(公告)日：2015-09-30

申请号：CN201510353871.6

申请日：2015-06-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  崔莹 ,  韩记晓 ,  宋跃 ,  刘洋 ,  万勇利 ,  何良辰 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/042

Abstract: 基于VME总线的光刻机双工件台控制系统多板卡通信方法，属于高精度运动控制领域的多板卡之间控制和通信领域，本发明为解决现有多块不同类型板卡与工控机之间实时同步性能差，以及多块板卡之间数据无法交互的问题。本发明应用VME总线模块，将主控CPU板作为VME总线的主设备，其他板卡作为从设备，主设备可通过驱动地址线来选择不同的从设备进行数据交互，然后将工控机通过网口与主控制卡连接，从而实现工控机实时的对各个板卡进行指令传送和数据监控。不同板卡之间的通信则是以主控制卡作为桥梁进行，主控CPU板首先驱动地址线选中需要发送数据的板卡，并将数据读取出来，然后再将此数据发送到另一块需要接收此数据的板卡中。

公开(公告)号：CN105116843B

公开(公告)日：2017-10-27

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。

公开(公告)号：CN105137855A

公开(公告)日：2015-12-09

申请号：CN201510454666.9

申请日：2015-07-29

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  刘洋 ,  宋法质 ,  王一光 ,  陈震宇 ,  何良辰 ,  宋跃 ,  张常江 ,  万勇利 ,  韩记晓 ,  赵为志

IPC: G05B19/042

CPC classification number: G05B19/0421 ,  G05B2219/1208

Abstract: 多板卡同步读取电容传感器的实现方法，属于高精度运动控制系统的信号采集与数据通信技术领域，本发明为解决现有技术读取多路电容器数据无法保证其同步性，导致微动台控制精度差的问题。本发明方法包括以下步骤：步骤一：当运动控制卡接收到同步触发信号的上升沿时，三个电容传感器给板卡发送当前测量的数据，经过串口电平转换电路到达FPGA模块引脚上，存储在双口RAM里，并且在接收数据完成后输出接收完成信号；步骤二：产生的接收完成信号触发DSP模块外部中断，在DSP模块中断程序中会将存储在双口RAM里的数据读取到DSP模块中，完成同步读取多路电容传感器信号的过程。

公开(公告)号：CN104965394A

公开(公告)日：2015-10-07

申请号：CN201510471721.5

申请日：2015-08-04

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  张常江 ,  宋法质 ,  万勇利 ,  王一光 ,  刘洋 ,  何良辰 ,  董岳 ,  宋跃

IPC: G03F7/20

Abstract: 一种双工件台系统换台过程控制方法，本发明属于半导体制造装备的技术领域。它的方法步骤为：第一工件台移动到左侧预处理工作位置处；第二工件台移动到右侧曝光工作位置处；第一X向移动平台移动到左侧换卡位置处，第二X向移动平台移动到右侧换卡位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台逆时针旋转180度；第二工件台移动到左侧预处理工作位置处；第一工件台移动到右侧曝光工作位置处；公转电机带动第一工件台和第二工件台顺时针旋转180度。本发明方法采用回转换台方案，与直线换台方案相比，减少了换台过程中对台体的冲击，减少了换台时间，提高了工件台定位精度，对增加光刻机产率起到了至关重要的作用。

公开(公告)号：CN104935218B

公开(公告)日：2017-06-16

申请号：CN201510405399.6

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: H02P5/56

Abstract: 一种双旋转电机系统的主从控制方法。本发明涉及一种双旋转电机系统的主从控制方法。所述双旋转电机系统包括定旋转电机、动旋转电机、旋转电机连接杆及台体，所述定旋转电机固定在台体上，所述定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接；所述控制方法包括七个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制定旋转电机的旋转角度参数；步骤三：利用双速旋转变压器及其角位变送器来采集定旋转电机的旋转角度数据，将传感器采集的旋转角度数据通过运动控制卡系统进行数据转换，并实时读取定旋转电机旋转角度数据。本发明用于双旋转电机系统的主从控制。

公开(公告)号：CN105182906A

公开(公告)日：2015-12-23

申请号：CN201510615768.4

申请日：2015-09-24

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 陈兴林 ,  宋法质 ,  王一光 ,  董岳 ,  刘杨 ,  陈震宇 ,  张常江 ,  万勇利 ,  刘洋 ,  何良辰

IPC: G05B19/19

CPC classification number: G05B19/19

Abstract: 基于高阶S型运动轨迹的位置与速度控制方法，属于精密运动控制领域。为了解决利用传统的轨迹规划算法的位置与速度控制方法的可移植性差的问题。所述控制方法包括：一：根据第N阶S曲线的限定值求取第N阶S曲线在各分段点的值S(N)[k]；二：求取第k个分段点对应的时间值T[k]和第n阶S曲线在第k个分段点的值S(n)[k]；三：对确定T[k]和S(n)[k]的S曲线进行采样，获得规划后的N阶S型运动轨迹；四：根据规划后的N阶S型运动轨迹，利用位置的采样值、位置的第1阶导数的采样值分别对位置与速度进行控制。本发明用于运动机构位置与速度的控制。

公开(公告)号：CN105116843A

公开(公告)日：2015-12-02

申请号：CN201510405398.1

申请日：2015-07-11

Applicant: 哈尔滨工业大学

Inventor： 刘杨 ,  何良辰 ,  宋法质 ,  陈兴林 ,  刘洋 ,  宋跃 ,  张常江 ,  王一光 ,  万勇利 ,  赵为志

IPC: G05B19/414

CPC classification number: G05B19/414

Abstract: 一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。本发明涉及一种直线电机与两个旋转电机的同步控制方法。所述控制方法包括以下六个步骤，步骤一：将运动控制卡系统初始化；步骤二：向初始化后的运动控制卡系统内输入用来控制两个旋转电机的旋转角度参数；所述两个旋转电机分别是定旋转电机与动旋转电机，所述定旋转电机固定在台体上，定旋转电机的转子通过旋转电机连接杆与动旋转电机的转子刚性连接，所述动旋转电机的转子通过水平方向可伸缩线缆与直线电机连接，所述直线电机在直线电机导轨上运动，所述直线电机导轨安装在台体的左侧边。本发明用于直线电机与旋转电机的同步控制。