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公开(公告)号：CN102200480B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201110070911.8
申请日：2011-03-23
Applicant: 吉林大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明的金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法属于极端条件下原位温度测量装置的技术领域。本发明的W-Ta热电偶的结构是在一个金刚石压砧(1)表面沉积有氧化铝膜(2)；在氧化铝膜(2)上分别沉积有小于压砧表面积一半的钨膜(3)和钽膜(4)作热电偶的导电体，之间有氧化铝膜(2)隔断，钨膜(3)和钽膜(4)在砧面中心重叠接触作为热电偶接点。W-Ta热电偶通过薄膜制备技术和光刻技术制作在金刚石压砧(1)的表面。本发明的W-Ta热电偶与被测表面之间的对流换热变化也极其微小，对表面热传导的干扰极小，对温度响应更快，且测量结果更能反映被测表面的实际温度，实现高温高压条件下的原位温度测量。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102288844B
公开(公告)日：2013-10-23
申请号：CN201110126216.9
申请日：2011-05-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明的在金刚石对顶砧上集成电极的方法属于高温高压装置的技术领域。本发明利用纳米引晶技术、薄膜沉积技术和离子束刻蚀技术，将掺硼金刚石电极制备到金刚石压砧上。所述的薄膜沉积，有用作电极的掺硼金刚石膜的沉积和制备过程中用作保护层的氧化铝膜的沉积。本发明采用氩离子束对整个金刚石压砧进行轰击，最后使设计的电极间绝缘带处的掺硼金刚石膜断开形成电极，避免了在高温条件下硼掺杂金刚石膜的选择性沉积造成的掩膜破裂使电极间导通的问题，提高在金刚石压砧上制备金刚石电极的成功率。
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公开(公告)号：CN102183693B
公开(公告)日：2013-06-05
申请号：CN201110021087.7
申请日：2011-01-19
Applicant: 吉林大学
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明的高压原位电阻率测量的电极及其制作方法属于高压装置的技术领域。两条电极(3)沉积在一颗金刚石压砧(1)上，在金刚石压砧(1)的砧面和侧面再沉积有绝缘保护层(4)，电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上；两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形；放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。电极(3)的制作方法有沉积金属钼、制作电极、沉积氧化铝绝缘保护层和电极引线制作的步骤。利用此电极进行电阻率测量时，不用考虑样品腔内壁不绝缘带来的实验误差；不需要对样品的厚度进行测量，也不用考虑由厚度测量不准确带来的实验误差。
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公开(公告)号：CN102288844A
公开(公告)日：2011-12-21
申请号：CN201110126216.9
申请日：2011-05-17
Applicant: 吉林大学
Abstract: 本发明的在金刚石对顶砧上集成电极的方法属于高温高压装置的技术领域。本发明利用纳米引晶技术、薄膜沉积技术和离子束刻蚀技术，将掺硼金刚石电极制备到金刚石压砧上。所述的薄膜沉积，有用作电极的掺硼金刚石膜的沉积和制备过程中用作保护层的氧化铝膜的沉积。本发明采用氩离子束对整个金刚石压砧进行轰击，最后使设计的电极间绝缘带处的掺硼金刚石膜断开形成电极，避免了在高温条件下硼掺杂金刚石膜的选择性沉积造成的掩膜破裂使电极间导通的问题，提高在金刚石压砧上制备金刚石电极的成功率。
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公开(公告)号：CN102183693A
公开(公告)日：2011-09-14
申请号：CN201110021087.7
申请日：2011-01-19
Applicant: 吉林大学
IPC: G01R27/02
Abstract: 本发明的高压原位电阻率测量的电极及其制作方法属于高压装置的技术领域。两条电极(3)沉积在一颗金刚石压砧(1)上，在金刚石压砧(1)的砧面和侧面再沉积有绝缘保护层(4)，电极的金属引线(5)粘在金刚石压砧(1)侧面裸露的电极端头上；两条电极(3)在金刚石压砧(1)砧面的端头分别是圆形和弓形；放置在两颗金刚石压砧(1)之间的金属垫片(6)作为第三电极。电极(3)的制作方法有沉积金属钼、制作电极、沉积氧化铝绝缘保护层和电极引线制作的步骤。利用此电极进行电阻率测量时，不用考虑样品腔内壁不绝缘带来的实验误差；不需要对样品的厚度进行测量，也不用考虑由厚度测量不准确带来的实验误差。
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公开(公告)号：CN102200480A
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201110070911.8
申请日：2011-03-23
Applicant: 吉林大学
IPC: G01K7/02
Abstract: 本发明的金刚石对顶砧上原位温度测量热电偶及其制备方法属于极端条件下原位温度测量装置的技术领域。本发明的W-Ta热电偶的结构是在一个金刚石压砧(1)表面沉积有氧化铝膜(2)；在氧化铝膜(2)上分别沉积有小于压砧表面积一半的钨膜(3)和钽膜(4)作热电偶的导电体，之间有氧化铝膜(2)隔断，钨膜(3)和钽膜(4)在砧面中心重叠接触作为热电偶接点。W-Ta热电偶通过薄膜制备技术和光刻技术制作在金刚石压砧(1)的表面。本发明的W-Ta热电偶与被测表面之间的对流换热变化也极其微小，对表面热传导的干扰极小，对温度响应更快，且测量结果更能反映被测表面的实际温度，实现高温高压条件下的原位温度测量。
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