一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN108802098B

    公开(公告)日:2020-03-10

    申请号:CN201810673293.8

    申请日:2018-06-26

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法,涉及碳化硅薄膜热导率的测量。测量装置设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机。所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成。所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并可通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离。所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器。所述计算机可控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号,进行相应的数据分析。所述测量方法利用能够探测样品上各点热量信号与热源信号的相位差值,通过图像拟合和公式推导可计算得出薄膜材料热导率。

    一种陶瓷基板连续化丝网印刷机及其印刷方法

    公开(公告)号:CN106696444B

    公开(公告)日:2019-06-07

    申请号:CN201710009248.8

    申请日:2017-01-06

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种陶瓷基板连续化丝网印刷机及其印刷方法,涉及丝网印刷。陶瓷基板连续化丝网印刷机包括薄膜送膜系统、印刷系统、热处理系统、基板收膜系统;所述薄膜送膜系统、印刷系统、热处理系统、基板收膜系统依次排列并放置于地面,薄膜送膜系统的传动机构连接印刷系统和热处理系统,印刷系统和热处理系统之间设有定位机构,碳化硅陶瓷薄膜从薄膜送膜系统送出并通过定位机构后传送进入印刷系统和热处理系统,再经定位机构由基板收膜系统卷取成品基板。可以短时间内使碳化硅陶瓷薄膜表面均匀涂布印料,并对印刷好的印料进行热处理固化,从而将碳化硅陶瓷薄膜制成带有电路图案的碳化硅陶瓷基板。

    一种陶瓷基板连续化丝网印刷机及其印刷方法

    公开(公告)号:CN106696444A

    公开(公告)日:2017-05-24

    申请号:CN201710009248.8

    申请日:2017-01-06

    Applicant: 厦门大学

    CPC classification number: B41F15/12 B41F23/04 B41M1/12 B41M1/34

    Abstract: 一种陶瓷基板连续化丝网印刷机及其印刷方法,涉及丝网印刷。陶瓷基板连续化丝网印刷机包括薄膜送膜系统、印刷系统、热处理系统、基板收膜系统;所述薄膜送膜系统、印刷系统、热处理系统、基板收膜系统依次排列并放置于地面,薄膜送膜系统的传动机构连接印刷系统和热处理系统,印刷系统和热处理系统之间设有定位机构,碳化硅陶瓷薄膜从薄膜送膜系统送出并通过定位机构后传送进入印刷系统和热处理系统,再经定位机构由基板收膜系统卷取成品基板。可以短时间内使碳化硅陶瓷薄膜表面均匀涂布印料,并对印刷好的印料进行热处理固化,从而将碳化硅陶瓷薄膜制成带有电路图案的碳化硅陶瓷基板。

    一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法

    公开(公告)号:CN108802098A

    公开(公告)日:2018-11-13

    申请号:CN201810673293.8

    申请日:2018-06-26

    Applicant: 厦门大学

    Abstract: 一种连续碳化硅薄膜热导率的测量装置及其测量方法,涉及碳化硅薄膜热导率的测量。测量装置设有热源装置、电子式万能拉力试验机、温度测量装置和计算机。所述热源装置由信号源和高热导螺旋电阻丝组成。所述电子式万能拉力试验机带有样品夹持装置并可通过计算机的程序控制样品夹持装置的移动距离。所述温度测量装置设有非接触式红外测温仪探头和锁相放大器。所述计算机可控制电子式万能拉力试验机夹具的移动距离并能够处理锁相放大器采集到的信号,进行相应的数据分析。所述测量方法利用能够探测样品上各点热量信号与热源信号的相位差值,通过图像拟合和公式推导可计算得出薄膜材料热导率。

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