公开(公告)号：CN116110973A

公开(公告)日：2023-05-12

申请号：CN202310257918.3

申请日：2023-03-17

Applicant: 南昌大学

Inventor： 周杨波 ,  许方 ,  廖霞霞 ,  肖言发 ,  王勇

IPC: H01L29/78 ,  H01L29/24 ,  H01L21/336 ,  H01L29/423 ,  H01L29/40

Abstract: 本发明涉及一种二维范德华异质结场效应晶体管及其制备方法，属于晶体管技术领域。所述晶体管包括：SiO2/Si衬底；设置在衬底上的第一个二维材料层为半导体层；分别设置在所述第一个二维材料层两端的源电极和漏电极，在所述源电极和漏电极之间为沟道区；设置在第一个二维材料层上的第二个二维材料层为绝缘介质层；设置在第二个二维材料层上的栅电极。本发明提供的二维范德华异质结场效应晶体管在源极电压+0.1V情况下开关比高达106；接近理论极限的亚阈值摆幅；并且顶栅调制的传输曲线表现出很小的迟滞。

公开(公告)号：CN116544302A

公开(公告)日：2023-08-04

申请号：CN202310351436.4

申请日：2023-04-04

Applicant: 南昌大学

Inventor： 周杨波 ,  陈峰 ,  廖霞霞 ,  肖震洋 ,  肖言发 ,  魏文康 ,  付彬芸

IPC: H01L31/18 ,  H01L31/0312 ,  H01L31/101

Abstract: 本发明属于纳米功能材料领域，具体涉及一种基于准一维范德华材料ZrS3纳米带的可调偏振光电探测器的制备方法。本方法采用机械剥离法将ZrS3晶体剥离成纳米带并转移到SiO2/Si衬底上，再经过电子束曝光和真空蒸镀制备ZrS3光电探测器，通过改变光源波长和调节栅极电压实现可调偏振光电探测器。基于该方法制备的ZrS3光电探测器具有偏振可调，灵敏度高，响应快，性能稳定等特点。该方法操作简单，耗时短，可重复性高，利于高性能可调偏振光电探测器的生产和应用。