-
公开(公告)号：CN116544302A
公开(公告)日：2023-08-04
申请号：CN202310351436.4
申请日：2023-04-04
Applicant: 南昌大学
IPC: H01L31/18 , H01L31/0312 , H01L31/101
Abstract: 本发明属于纳米功能材料领域，具体涉及一种基于准一维范德华材料ZrS3纳米带的可调偏振光电探测器的制备方法。本方法采用机械剥离法将ZrS3晶体剥离成纳米带并转移到SiO2/Si衬底上，再经过电子束曝光和真空蒸镀制备ZrS3光电探测器，通过改变光源波长和调节栅极电压实现可调偏振光电探测器。基于该方法制备的ZrS3光电探测器具有偏振可调，灵敏度高，响应快，性能稳定等特点。该方法操作简单，耗时短，可重复性高，利于高性能可调偏振光电探测器的生产和应用。
Search Results
1
records
(took 0.012 seconds)
筛选
AND
AND
过滤
NOT
NOT
Scan to Join
