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公开(公告)号：CN209766453U
公开(公告)日：2019-12-10
申请号：CN201920846561.1
申请日：2019-06-05
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/112 , H01L31/0352
Abstract: 本实用新型公开了一种频率可调谐的高灵敏度纳米碳管量子点THz探测器，包括源极、漏极、沟道、N型掺杂区、栅氧化层、基底和栅极，基底采用GaInNAs异质结基底；所述栅氧化层位于基底上方，所述沟道位于栅氧化层上方，所述沟道采用纳米碳管量子点制成，沟道位于源极和漏极之间，且沟道与源极之间存在N型掺杂区，沟道与漏极之间也存在N型掺杂区；所述栅极为侧栅极，栅极位于沟道侧面；源极和漏极采用Al薄膜。本实用新型具有更高的灵敏度，更强的频率选择性，更高的工作温度，表明该结构有更好的太赫兹光子探测能力。
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