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实用新型
一种源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管有权

公开(公告)号：CN209626230U

公开(公告)日：2019-11-12

申请号：CN201920838966.0

申请日：2019-06-04

Applicant: 南京邮电大学

Inventor： 张闻睿 , 渠开放 , 王伟

IPC: H01L29/78 , H01L29/08

Abstract: 本实用新型公开了一种源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管，包括源区、漏区、沟道、栅氧化层及双栅极；栅极包括栅极两端和栅极中间，栅极两端功函数与栅极中间功函数不同；沟道为石墨烯纳米管，位于源区和漏区之间，源区和漏区均包括N型重掺杂区和扩展区，扩展区靠近石墨烯纳米管，N型重掺杂区远离石墨烯纳米管，源扩展区与漏扩展区均为N型轻掺杂；栅氧化层位于石墨烯纳米管两侧，双栅极位于栅氧化层外侧。本实用新型减少了器件性能下降，具有更大的电流开关比，迟滞时间更短，亚阈值摆幅更小，电压增益更高的源漏轻掺杂异质栅石墨烯纳米条带场效应管。

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