公开(公告)号：CN119472299B

公开(公告)日：2025-03-14

申请号：CN202510012326.4

申请日：2025-01-06

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 韩正国 ,  蒋卫锋 ,  张淋 ,  谢龙勤 ,  蔡忠贸 ,  相子涵 ,  高亚太 ,  刘瑞琦 ,  孙宝国 ,  仲轶辰 ,  张岂铭

IPC: G05B13/04 ,  G06N3/0499 ,  G06N3/067 ,  G01D21/02

Abstract: 本发明公开了一种基于神经网络的光子引线键合参数预测方法，包括确定影响双光子聚合直写技术的环境参量和键合控制参量，制作数据集；对数据集进行归一化处理并划分为训练集及测试集；构建以全连接前馈神经网络为基础的光子引线键合参数预测模型；通过优化隐藏层层数和节点数，使损失函数收敛，训练完成后得到目标光子引线键合参数预测模型；通过该模型可预测飞秒激光器的输出参量。进一步，本发明还提出了一种电子设备、光子引线键合控制系统及控制方法。本发明能有效提高光子引线键合工艺在光子器件互连时的耦合效率，降低人为调控成本，提高半导体工艺精度。

公开(公告)号：CN119472299A

公开(公告)日：2025-02-18

申请号：CN202510012326.4

申请日：2025-01-06

Applicant: 南京信息工程大学

Inventor： 韩正国 ,  蒋卫锋 ,  张淋 ,  谢龙勤 ,  蔡忠贸 ,  相子涵 ,  高亚太 ,  刘瑞琦 ,  孙宝国 ,  仲轶辰 ,  张岂铭

IPC: G05B13/04 ,  G06N3/0499 ,  G06N3/067 ,  G01D21/02

Abstract: 本发明公开了一种基于神经网络的光子引线键合参数预测方法，包括确定影响双光子聚合直写技术的环境参量和键合控制参量，制作数据集；对数据集进行归一化处理并划分为训练集及测试集；构建以全连接前馈神经网络为基础的光子引线键合参数预测模型；通过优化隐藏层层数和节点数，使损失函数收敛，训练完成后得到目标光子引线键合参数预测模型；通过该模型可预测飞秒激光器的输出参量。进一步，本发明还提出了一种电子设备、光子引线键合控制系统及控制方法。本发明能有效提高光子引线键合工艺在光子器件互连时的耦合效率，降低人为调控成本，提高半导体工艺精度。