一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置

    公开(公告)号:CN112857253B

    公开(公告)日:2024-07-23

    申请号:CN202110089853.7

    申请日:2021-01-22

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块;其中,所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆;其中,所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。

    一种晶圆测量设备、系统及方法

    公开(公告)号:CN114485476B

    公开(公告)日:2024-03-15

    申请号:CN202210207622.6

    申请日:2022-03-03

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法,包括:减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统;晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶;二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动;所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束;所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离,导致测量的结果存在误差。

    一种晶圆测量设备、系统及方法

    公开(公告)号:CN114485476A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210207622.6

    申请日:2022-03-03

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种晶圆测量设备、系统及方法,包括:减震平台、配置在减震平台上的二维运动模组、配置在二维运动模组上的晶圆放置台、配置在晶圆放置台上方的滑轨、可移动配置在滑轨上的光路产生系统、以及可移动配置在滑轨上的光路接收系统;晶圆放置台用于放置待测晶圆和基准平晶;二维运动模组用于带动所述晶圆放置台在平行与所述减震平台的平面进行二维平面运动;所述光路产生系统用于产生照射在所述待测晶圆和所述基准平晶上的准直光束;所述光路接收系统用于接收所述准直光束在所述待测晶圆和所述基准平晶反射产生的干涉图像。解决了现有技术中的测量系统无法测量面积较大的晶圆的问题和避免因光路细微的偏离,导致测量的结果存在误差。

    一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置

    公开(公告)号:CN112857253A

    公开(公告)日:2021-05-28

    申请号:CN202110089853.7

    申请日:2021-01-22

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块;其中,所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆;其中,所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。

    一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置

    公开(公告)号:CN214200005U

    公开(公告)日:2021-09-14

    申请号:CN202120191637.9

    申请日:2021-01-22

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本实用新型提供了一种大尺寸晶圆的表面三维形貌测量装置,包括:基座、配置在所述基座上的运动模组和支架组件、配置在所述运动模组的光学测量模块;其中,所述支架组上配置有平晶以及被测晶圆;其中,所述光学测量模块包括配置在所述运动模组上的支撑板、配置在支撑板上的发光组件、依次配置在所述发光组件的出射光路上的平凸透镜组件和90°离轴抛物面镜组件、用于采集所述发光组件的出射光在所述平晶以及所述被测晶圆上所形成干涉条纹图像的相机组件。解决现有测量系统无法同时兼顾大范围测量和高精度测量的要求。

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