一种实现高度误差分离的形貌测量装置及方法、系统

    公开(公告)号:CN114485472A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210131938.1

    申请日:2022-02-14

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及方法、系统,包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块;高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件,外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端,误差光学测量组件配置在测量桥组件第一端面,外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件上表面耦合形成薄膜气隙,测量桥组件随二维运动模组作二维直线运动,带动误差光学测量组件作二维运动;误差光学测量组件配置为将外置基准光学平晶下表面与误差光学测量组件发生靠近或远离位移转值;位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有光学三维测量方案存在测量精度低,成本高昂的问题。

    一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及方法、系统

    公开(公告)号:CN114485471A

    公开(公告)日:2022-05-13

    申请号:CN202210131865.6

    申请日:2022-02-14

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明提供了一种高度向误差分离的三维形貌测量装置及方法、系统,包括底座、高度误差分离模块、二维运动机台、测量桥组件;二维运动机台包括外置基准光学平晶、位移驱动机构,外置基准光学平晶配置在位移驱动机构上,外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块上表面耦合形成薄膜气隙,外置基准光学平晶上表面用于放置待测工件,测量桥组件用于采集待测工件形貌值,外置基准光学平晶随位移驱动机构作二维直线运动;高度误差分离模块配置为采集外置基准光学平晶下表面与高度误差分离模块发生靠近或分离位移转值;位移转值用于补偿测量桥组件采集待测工件形貌值。旨在解决现有工件面形精度测量方案存在测量精度低,成本高昂,装调要求严苛的问题。

    一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统

    公开(公告)号:CN111412863B

    公开(公告)日:2021-10-22

    申请号:CN202010327432.9

    申请日:2020-04-23

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统,其特征在于,包括:从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块,被测物位于色散模块和载物模块之间,复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块进行并行色散,使得不同波长的光线按照波长规律聚焦在各自轴向的不同高度位置处,光线到达被测物表面并由被测物表面反射至分光模块中,再由分光模块对光线进行再次反射,聚焦在被测物表面的波长的光线经反射后到达成像模块成像。本发明的并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统,使用方便,测量效率和测量精度高。

    一种并行彩色共聚焦平面度测量系统

    公开(公告)号:CN111426287A

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN202010327424.4

    申请日:2020-04-23

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开了一种并行彩色共聚焦平面度测量系统。该述系统中分光镜设置在复色光源的出射光路上;按照设定排布方式排列的多个光纤构成的柔性光纤束设置在分光镜的出射光路上;按照设定排布方式排列的多个微色散透镜单元构成的微色散透镜阵列与柔性光纤束的出射端耦合;微色散透镜阵列的出射光路上设置待测物,使色散后的不同波长的光聚焦在不同位置上;待测物将到达其表面的光反射至分光镜;按照设定排布方式排列的小孔阵列设置在分光镜的反射光路上以透过聚焦在待测物表面的光;彩色相机对透过小孔阵列的光进行拍摄得到彩色图像,进而确定待测物表面的平面度、弯曲度和翘曲度。本发明能实现多点并行测量,提高待测物体的平面度的测量效率。

    一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统

    公开(公告)号:CN111412863A

    公开(公告)日:2020-07-14

    申请号:CN202010327432.9

    申请日:2020-04-23

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及一种并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统,其特征在于,包括:从上至下依次排列的复色光源、分光模块、色散模块、载物模块以及位于分光模块一侧的成像模块,被测物位于色散模块和载物模块之间,复色光源发出的复色光经分光模块分光后传播至色散模块进行并行色散,使得不同波长的光线按照波长规律聚焦在各自轴向的不同高度位置处,光线到达被测物表面并由被测物表面反射至分光模块中,再由分光模块对光线进行再次反射,聚焦在被测物表面的波长的光线经反射后到达成像模块成像。本发明的并行彩色共聚焦三维形貌光学测量系统,使用方便,测量效率和测量精度高。

    一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法

    公开(公告)号:CN114199138B

    公开(公告)日:2025-04-08

    申请号:CN202210024968.2

    申请日:2022-01-11

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明涉及一种基于像栅的直线位移测量系统及测量方法,该位移测量系统包括LED背光源、玻璃线纹尺、位移驱动模块、图像采集模块、数据处理和显示模块。在测量中,将玻璃线纹尺置于LED背光源上,并让其随位移驱动模块中的直线位移滑台做平移运动,图像采集模块便可采集到不同位置的条纹图像,然后利用数据处理和显示模块对平移前后的图像进行相位相关,便能得到图像之间平移的像素数,最终利用物像之间的比例关系,就能够获取位移台的实际位移值。本发明提出的位移测量系统和位移测量方法解决了传统栅式传感器安装灵活性不足的问题,相比之前的视觉测量方法,其测量精度更高、量程更大。

    一种光学玻璃瑕疵检测装置及其厚度计算方法

    公开(公告)号:CN111289540A

    公开(公告)日:2020-06-16

    申请号:CN202010172383.6

    申请日:2020-03-12

    Applicant: 华侨大学

    Abstract: 本发明公开了一种光学玻璃瑕疵检测装置以及光学玻璃厚度计算方法,装置包含光源发射机构和成像机构;其中,所述光源发射机构包含复色光源以及色散构件,所述色散构件包括用于将复色光源发射的光线进行分光为不同波长的光线的光纤束、以及用于将经光纤束进行分光后的光线沿轴向进行色散以使不同波长的光线分别聚焦在被测光学玻璃的不同高度位置处的平面上的色散管镜;所述成像机构包含有用于供所述被测光学玻璃预设高度的平面反射出的光线通过的小孔阵列、以及用于将通过小孔阵列的光线成像的相机,实现了对光学玻璃上下表面、亚表面和内部缺陷瑕疵的检测。

Patent Agency Ranking