公开(公告)号：CN118641036A

公开(公告)日：2024-09-13

申请号：CN202410825950.1

申请日：2024-06-25

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 王文婧 ,  吴照川 ,  赵少宇 ,  张森 ,  王帆 ,  王鹏

IPC: G01J4/04 ,  G01J3/447 ,  G01M11/02 ,  G01J3/28 ,  G01J3/02

Abstract: 本发明公开一种集成偏振光谱滤波器及其测试方法，包括：滤波器阵列芯片与封装外壳；其中，滤波器阵列芯片包含：可调谐法布里‑珀罗滤光阵列结构与微偏振片阵列结构；法布里‑珀罗滤光阵列结构由M×N个独立的滤波器组成；每个光滤波器由两个平行的镜面构成法布里‑珀罗腔，其中一个镜面为固定镜，另一个镜面为可动镜；在相邻的4个滤波器的可动镜上分别设有4个0°、45°、90°以及135°不同方向的微偏振像素单元，将4个不同方向的微偏振像素单元按预设规律排列；4个不同方向的微偏振像素单元构成一个超像素单元结构。采用本发明的技术方案，以解决以往滤波器不能同时具备目标光谱信息探测能力及偏振信息探测能力的问题。