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公开(公告)号:CN118768305A
公开(公告)日:2024-10-15
申请号:CN202410862130.X
申请日:2024-06-28
Applicant: 华东光电集成器件研究所
Abstract: 本发明公开了一种金属陶瓷管壳的隔离式清洗装置,包括一个及以上的单层清洗机构,单层清洗机构包括清洗板和隔离清洗仓,相邻两个清洗板之间上下插接,拼装固定,隔离清洗仓具有多个,呈阵列式结构分布在清洗板上,隔离清洗仓的内壁面均匀涂覆有防护涂层,隔离清洗仓的内壁面还开设有通孔。本发明中,各隔离清洗仓相互独立,与清洗板一体成型,多个管壳被各隔离清洗仓隔开,避免在清洗时出现损伤情况,同时,隔离清洗仓的内壁开设有连通至清洗板及相邻隔离清洗仓的通孔,加速清洗液、空气及污染物异质在通孔之间的流通,提高管壳洁净度与清洗效率,在隔离清洗仓的内壁涂覆防护涂层,避免划伤管壳表面的金属层。
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