公开(公告)号：CN102110738A

公开(公告)日：2011-06-29

申请号：CN200910251521.3

申请日：2009-12-25

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 汪继芳 ,  余飞 ,  刘善喜

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种双面PSD器件的制造方法，包括以下步骤：(1)基片选择；(2)初氧；(3)光刻保护环掩模层；(4)氧化扩散一；(5)光刻上电极区掩模层；(6)氧化扩散二；(7)光刻下电极区掩模层；(8)氧化扩散三；(9)光刻光敏区掩模层；(10)氧化扩散四；(11)光刻背面引线孔掩模层；(12)光刻正面引线孔掩模层；(13)正反面溅纯铝；(14)光刻正面铝电极掩模层；(15)光刻背面铝电极掩模层；(16)去除正反面铝电极掩模层，然后合金，完成双面PSD器件的制作。用本发明方法制作出的双面PSD器件，具有很高的灵敏度、良好的瞬态响应特性，分辨率是单面PSD器件分辨率的两倍，器件边缘的线性度也得到了较大提高。

公开(公告)号：CN115457215A

公开(公告)日：2022-12-09

申请号：CN202211227563.5

申请日：2022-10-09

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 陶耀东 ,  王旭亚 ,  余飞 ,  孙小进 ,  刘海亮 ,  钱迟 ,  周彪 ,  王景溢

IPC: G06T17/00 ,  G06T7/11 ,  G06T7/269 ,  G06T7/70

Abstract: 本发明涉及自动驾驶技术领域，且公开了一种应用于自动驾驶的相机传感器建模方法，包括以下步骤，通过基准相机，采集测试场景的基准图像数据，然后数据实例分割预处理，需要获得经过实例分割的RGB图像和深度信息的先验，将视觉的信息区域分为稳定静态区域和非稳定的动态区域，该过程中，将从相机传感器获得的图像，采用实例分割算法处理后。本发明通过实例分割算法预处理得到先验语义信息，然后分别使用图像中的静态区域进行相机位姿解算获得初步的相机的位姿，使用潜在动态目标区域进行目标跟踪和得到运动目标的位姿，其仿真相机所采集到的仿真图像数据的误差指标，并通过误差指标计算相似度，从而提高仿真相机的验证准确度。

公开(公告)号：CN102110738B

公开(公告)日：2013-04-24

申请号：CN200910251521.3

申请日：2009-12-25

Applicant: 华东光电集成器件研究所

Inventor： 汪继芳 ,  余飞 ,  刘善喜

IPC: H01L31/18

CPC classification number: Y02P70/521

Abstract: 本发明涉及一种双面PSD器件的制造方法，包括以下步骤：(1)基片选择；(2)初氧；(3)光刻保护环掩模层；(4)氧化扩散一；(5)光刻上电极区掩模层；(6)氧化扩散二；(7)光刻下电极区掩模层；(8)氧化扩散三；(9)光刻光敏区掩模层；(10)氧化扩散四；(11)光刻背面引线孔掩模层；(12)光刻正面引线孔掩模层；(13)正反面溅纯铝；(14)光刻正面铝电极掩模层；(15)光刻背面铝电极掩模层；(16)去除正反面铝电极掩模层，然后合金，完成双面PSD器件的制作。用本发明方法制作出的双面PSD器件，具有很高的灵敏度、良好的瞬态响应特性，分辨率是单面PSD器件分辨率的两倍，器件边缘的线性度也得到了较大提高。