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公开(公告)号：CN111511504B
公开(公告)日：2022-03-01
申请号：CN201880082498.7
申请日：2018-11-26
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B55/02 , B24B27/06 , B28D5/04 , B28D7/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种工件切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中，将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上，当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时，将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上，其中，所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。由此，提供一种工件切断方法及线锯，其在从金属线列拉出切断后的工件时，抑制金属线卡住工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
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公开(公告)号：CN110461543B
公开(公告)日：2021-07-16
申请号：CN201880021867.1
申请日：2018-03-06
Applicant: 信越半导体株式会社
Inventor： 丰田史朗
IPC: B24B53/00 , B24B27/06 , H01L21/304 , B28D5/04
Abstract: 本发明提供一种工件的切断方法，该方法通过线锯进行，在线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向钢线列切入进给，而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在开始切断工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，该磨粒磨损步骤通过进行不伴随工件的切断的固定磨粒钢线的移动，从而在卷线器内使固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在该磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。
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公开(公告)号：CN110545957B
公开(公告)日：2021-07-23
申请号：CN201880026727.3
申请日：2018-03-20
Applicant: 信越半导体株式会社
Inventor： 丰田史朗
IPC: B24B27/06 , B24B53/00 , B28D5/04 , B28D7/04 , H01L21/304
Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，该方法将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将经由贴附于工件的接合部件而用工件保持装置保持的工件向钢线列切入进给，从而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其中，使用其中一部分为磨石的物质作为接合部件，从而在工件的切断结束后并且在从钢线列将工件拉出前，通过接合部件的磨石使固定磨粒钢线磨耗。由此，提供一种工件的切断方法，其能够防止在切断工件后的钢线拉出时发生由于固定磨粒钢线刮卡于工件而引起的线痕以及发生钢线断线。
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公开(公告)号：CN108025417B
公开(公告)日：2019-12-24
申请号：CN201680054788.1
申请日：2016-09-15
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种工件的切断方法，以线锯进行，线锯为将表面固着有磨粒的固定磨粒钢线卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，在使固定磨粒钢线于轴方向往复驱行的同时，通过将圆柱状的工件对钢线列切断入送，将工件于轴方向并排的多个位置同时切断，其中工件的切断结束后，将固定磨粒钢线自工件的切断结束时的位置，卷回自工件与钢线列开始接触的开始切断时至工件的切断结束时所送出的固定磨粒钢线的长度的1/3以上2/3以下的长度后，将工件自钢线列抽出。由此在切断工件后的钢线拔除中，钢线不会勾住工件而产生锯痕，并不会发生钢线断线。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110545957A
公开(公告)日：2019-12-06
申请号：CN201880026727.3
申请日：2018-03-20
Applicant: 信越半导体株式会社
Inventor： 丰田史朗
IPC: B24B27/06 , B24B53/00 , B28D5/04 , B28D7/04 , H01L21/304
Abstract: 本发明是一种工件的切断方法，该方法将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将经由贴附于工件的接合部件而用工件保持装置保持的工件向钢线列切入进给，从而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其中，使用其中一部分为磨石的物质作为接合部件，从而在工件的切断结束后并且在从钢线列将工件拉出前，通过接合部件的磨石使固定磨粒钢线磨耗。由此，提供一种工件的切断方法，其能够防止在切断工件后的钢线拉出时发生由于固定磨粒钢线刮卡于工件而引起的线痕以及发生钢线断线。
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公开(公告)号：CN110461543A
公开(公告)日：2019-11-15
申请号：CN201880021867.1
申请日：2018-03-06
Applicant: 信越半导体株式会社
Inventor： 丰田史朗
IPC: B24B53/00 , B24B27/06 , H01L21/304 , B28D5/04
Abstract: 本发明提供一种工件的切断方法，该方法通过线锯进行，在线锯中，将表面固定有磨粒的固定磨粒钢线通过卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，固定磨粒钢线从一组的卷线器中的其中一个卷线器送出并被卷取至另一个卷线器，通过使固定磨粒钢线沿轴向往复移动，并且将工件向钢线列切入进给，而将工件在沿轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在开始切断工件之前进行磨粒磨损步骤，其中，该磨粒磨损步骤通过进行不伴随工件的切断的固定磨粒钢线的移动，从而在卷线器内使固定磨粒钢线彼此互相磨擦，而对固定磨粒钢线的表面进行修整，并且在该磨粒磨损步骤中，对所述固定磨粒钢线的表面进行30分钟以上的修整。由此，提供能够以低成本简单地进行固定磨粒钢线的修整，并且能够抑制晶圆的厚度变化的工件的切断方法。
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公开(公告)号：CN117296133A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202280034494.8
申请日：2022-03-15
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: H01L21/304
Abstract: 本发明是利用线锯或带锯切断硅锭来制造具有主表面A与主表面B的硅晶圆的硅晶圆的制造方法，具有：第一切断工序，进行制作所述主表面A的切断；以及第二切断工序，进行制作所述主表面B的切断，通过使所述第一切断工序中的条件与所述第二切断工序中的条件为不同的条件，从而使对所述主表面A的损伤与对所述主表面B的损伤不同。由此，提供能够得到具有翘曲的硅晶圆的新型的硅晶圆的制造方法。
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公开(公告)号：CN111511504A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN201880082498.7
申请日：2018-11-26
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B55/02 , B24B27/06 , B28D5/04 , B28D7/02 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种工件切断方法，其通过线锯进行，通过将表面固着有磨粒的固定磨粒金属线卷绕至多个带沟滚轮而形成金属线列，通过一边使所述固定磨粒金属线在轴向上往复移动，一边将工件向所述金属线列切入进给，从而将所述工件在轴向排列的多个位置同时切断，其特征在于，在通过所述固定磨粒金属线进行工件切断过程中，将工件切断用冷却剂供给至所述金属线列上，当切断所述工件后从所述金属线列拉出所述工件时，将工件拉出用冷却剂供给至所述金属线列上，其中，所述工件拉出用冷却剂与所述工件切断用冷却剂不同且与所述工件切断用冷却剂相比黏度更高。由此，提供一种工件切断方法及线锯，其在从金属线列拉出切断后的工件时，抑制金属线卡住工件而产生锯痕或发生金属线断线的情况。
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公开(公告)号：CN108025417A
公开(公告)日：2018-05-11
申请号：CN201680054788.1
申请日：2016-09-15
Applicant: 信越半导体株式会社
IPC: B24B27/06 , B28D5/04 , H01L21/304
Abstract: 本发明提供一种工件的切断方法，以线锯进行，线锯为将表面固着有磨粒的固定磨粒钢线卷绕于多个带沟滚筒以形成钢线列，在使固定磨粒钢线于轴方向往复驱行的同时，通过将圆柱状的工件对钢线列切断入送，将工件于轴方向并排的多个位置同时切断，其中工件的切断结束后，将固定磨粒钢线自工件的切断结束时的位置，卷回自工件与钢线列开始接触的开始切断时至工件的切断结束时所送出的固定磨粒钢线的长度的1/3以上2/3以下的长度后，将工件自钢线列抽出。由此在切断工件后的钢线拔除中，钢线不会勾住工件而产生锯痕，并不会发生钢线断线。
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