公开(公告)号：CN110877486B

公开(公告)日：2021-10-29

申请号：CN201910825030.9

申请日：2019-09-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 浅井和宏 ,  笹木弘司 ,  山室纯 ,  永田真吾

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷射头和制造液体喷射头的方法。液体喷射头包括底板和至少两个器件芯片，在器件芯片中形成有用于喷射液体的喷射口，并且器件芯片布置在底板上；至少一个第一基准标记设置在底板上；第二基准标记设置在每个器件芯片上；在相邻器件芯片之间形成至少一个空间；第二基准标记和存在于该空间中的第一基准标记布置在排列器件芯片所沿的排列轴线上。

公开(公告)号：CN107303758B

公开(公告)日：2019-03-01

申请号：CN201710239127.2

申请日：2017-04-13

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 山室纯 ,  藤井谦児 ,  浅井和宏 ,  松本圭司 ,  笹木弘司 ,  鱼桥邦仁 ,  柳沼诚一郎 ,  渡部正久 ,  村上辽太郎 ,  中野智彦 ,  枝松启治 ,  中田春香

IPC: B41J2/16

Abstract: 一种液体喷出头的制造方法，包括如下步骤：预备基板，所述基板在其表面上包括具有多个开口的层，所述供给部的开口部位于所述开口中，多个所述开口沿排列方向排列，并且与多个所述开口不同的其它开口在所述排列方向上位于列端部的外侧；和将用于形成流路的干膜附着到所述基板和所述层。

公开(公告)号：CN107718882A

公开(公告)日：2018-02-23

申请号：CN201710682892.1

申请日：2017-08-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鱼桥邦仁 ,  永田真吾 ,  藤井谦儿 ,  山室纯 ,  笹木弘司 ,  松本圭司 ,  柳沼诚一郎 ,  村上遼太郎 ,  中野智彦 ,  永井正隆

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

公开(公告)号：CN102343718B

公开(公告)日：2014-06-25

申请号：CN201110211304.9

申请日：2011-07-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千田充 ,  山室纯 ,  藤井谦儿 ,  本田哲朗

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14024 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14387

Abstract: 本发明涉及液体喷射头及其制备方法。所述液体喷射头包括：基板，所述基板具有被配置为产生用于从孔喷射液体的能量的能量产生器件；透明的通道壁部件，所述透明的通道壁部件形成通向所述孔的通道的内壁；以及中间层，所述中间层被设置在所述基板的表面和所述通道壁部件之间并与它们接触，并且具有与所述通道壁部件的折射率不同的折射率。所述中间层具有第一外端面和第二外端面，所述第一外端面在从所述孔向所述基板的方向上观看时形成符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第一角度，所述第二外端面面对所述通道并与所述基板的所述表面成第二角度。所述第一角度是钝角。所述第二角度小于所述第一角度。

公开(公告)号：CN102381032B

公开(公告)日：2014-06-04

申请号：CN201110249416.3

申请日：2011-08-29

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 小山修司 ,  横山宇 ,  藤井谦儿 ,  山室纯 ,  松本圭司 ,  本田哲朗 ,  笹木弘司 ,  古澤健太 ,  岸本圭介

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1604 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1643 ,  B41J2/1645 ,  B41J2/1646 ,  Y10T29/49401

Abstract: 本发明提出一种制造液体排出头的方法，该方法包括：提供基板，变成流路壁部件的固体部件在该基板上被设置为包围变成流路的区域；在该区域内形成由金属或金属化合物制成的模子；设置由树脂制成的覆盖层以覆盖固体部件和模子；和去除模子以形成流路。

公开(公告)号：CN110877486A

公开(公告)日：2020-03-13

申请号：CN201910825030.9

申请日：2019-09-03

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 浅井和宏 ,  笹木弘司 ,  山室纯 ,  永田真吾

IPC: B41J2/14

Abstract: 本发明涉及液体喷射头和制造液体喷射头的方法。液体喷射头包括底板和至少两个器件芯片，在器件芯片中形成有用于喷射液体的喷射口，并且器件芯片布置在底板上；至少一个第一基准标记设置在底板上；第二基准标记设置在每个器件芯片上；在相邻器件芯片之间形成至少一个空间；第二基准标记和存在于该空间中的第一基准标记布置在排列器件芯片所沿的排列轴线上。

公开(公告)号：CN107718882B

公开(公告)日：2019-11-22

申请号：CN201710682892.1

申请日：2017-08-11

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 鱼桥邦仁 ,  永田真吾 ,  藤井谦儿 ,  山室纯 ,  笹木弘司 ,  松本圭司 ,  柳沼诚一郎 ,  村上遼太郎 ,  中野智彦 ,  永井正隆

IPC: B41J2/16

Abstract: 本发明公开了用于制造液体喷射头的方法。用于制造液体喷射头的方法包括：在基板上设置负型的第一感光树脂层；通过选择性地曝光所述第一感光树脂层来形成流路的图案；在所述第一感光树脂层上设置负型的第二感光树脂层；在所述第二感光树脂层上设置负型的第三感光树脂层；通过选择性地曝光所述第二和第三感光树脂层来形成喷射端口的图案；使所述第一、第二和第三感光树脂层显影；在显影之后在至少所述第三感光树脂层上照射活化能量线；以及在活化能量线的照射之后热固化所述第一、第二和第三感光树脂层。

公开(公告)号：CN104669795B

公开(公告)日：2017-04-05

申请号：CN201410697215.3

申请日：2014-11-26

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 浅井和宏 ,  藤井谦儿 ,  松本圭司 ,  笹木弘司 ,  鱼桥邦仁 ,  山室纯 ,  柳沼诚一郎 ,  渡部正久 ,  村上辽太郎

IPC: B41J2/16

CPC classification number: B41J2/1623 ,  B41J2/14145 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1629 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645

Abstract: 一种液体排出头的制造方法，其包括：转印工序，其中，将由支撑构件支撑的干膜转印到具有孔的基板；和剥离工序，其中，将所述支撑构件从所述基板上的所述干膜剥离。在所述剥离工序中，所述干膜与限定所述基板中的所述孔的壁面接触。

公开(公告)号：CN102343718A

公开(公告)日：2012-02-08

申请号：CN201110211304.9

申请日：2011-07-27

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 千田充 ,  山室纯 ,  藤井谦儿 ,  本田哲朗

IPC: B41J2/14 ,  B41J2/16

CPC classification number: B41J2/14024 ,  B41J2/1603 ,  B41J2/1626 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1645 ,  B41J2002/14387

Abstract: 本发明涉及液体喷射头及其制备方法。所述液体喷射头包括：基板，所述基板具有被配置为产生用于从孔喷射液体的能量的能量产生器件；透明的通道壁部件，所述透明的通道壁部件形成通向所述孔的通道的内壁；以及中间层，所述中间层被设置在所述基板的表面和所述通道壁部件之间并与它们接触，并且具有与所述通道壁部件的折射率不同的折射率。所述中间层具有第一外端面和第二外端面，所述第一外端面在从所述孔向所述基板的方向上观看时形成符号的轮廓并与所述基板的所述表面成第一角度，所述第二外端面面对所述通道并与所述基板的所述表面成第二角度。所述第一角度是钝角。所述第二角度小于所述第一角度。

公开(公告)号：CN101032885B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN200710080082.5

申请日：2007-03-07

Applicant: 佳能株式会社

Inventor： 坂井稔康 ,  小山修司 ,  小野贤二 ,  山室纯

IPC: B41J2/16 ,  B41J2/14

CPC classification number: B41J2/1603 ,  B41J2/1628 ,  B41J2/1631 ,  B41J2/1632 ,  B41J2/1634 ,  B41J2/1635 ,  B41J2/1639 ,  B41J2/1645 ,  H01L21/76898

Abstract: 本发明提供一种喷墨头基片和喷墨头及其制造方法。该喷墨头基片的制造方法包括在硅基片中形成供墨口，该方法包括：在基片的一面形成蚀刻掩模层的步骤，该蚀刻掩模层在与供墨口相对应的位置处具有开口；沿开口的长度方向形成至少两行通过蚀刻掩模层的开口的未穿透孔的步骤；以及通过在开口中对基片进行晶体各向异性蚀刻来形成供墨口的步骤。