陶瓷基板、层叠体和SAW器件

    公开(公告)号:CN107406335A

    公开(公告)日:2017-11-28

    申请号:CN201680001823.3

    申请日:2016-04-26

    Abstract: 陶瓷基板由多晶陶瓷形成并具有支撑主面。所述支撑主面具有以Sa表示的0.01nm以上且3.0nm以下的粗糙度。在所述支撑主面上,边长为50μm的正方形区域内高度为1nm以上的凹凸的数目平均小于5个、并且在所述正方形区域内高度为2nm以上的凹凸的数目平均小于1个。

    层状体和SAW器件
    4.
    发明授权

    公开(公告)号:CN110495097B

    公开(公告)日:2024-01-30

    申请号:CN201880019487.4

    申请日:2018-03-12

    Abstract: 一种层状体包括由多晶陶瓷形成并且具有支撑主表面的陶瓷基板和由压电材料形成并且具有通过范德华力结合到所述支撑主表面的结合主表面的压电基片。陶瓷基板包括形成的支撑主表面无定形层,所述支撑主表面无定形层形成为包括所述支撑主表面。压电基片包括形成的结合主表面无定形层,所述结合主表面无定形层形成为包括结合主表面。支撑主表面无定形层的厚度小于所述结合主表面无定形层的厚度。

    陶瓷基板、层叠体和SAW器件

    公开(公告)号:CN107406335B

    公开(公告)日:2020-12-08

    申请号:CN201680001823.3

    申请日:2016-04-26

    Abstract: 陶瓷基板由多晶陶瓷形成并具有支撑主面。所述支撑主面具有以Sa表示的0.01nm以上且3.0nm以下的粗糙度。在所述支撑主面上,边长为50μm的正方形区域内高度为1nm以上的凹凸的数目平均小于5个、并且在所述正方形区域内高度为2nm以上的凹凸的数目平均小于1个。

    层状体和SAW器件
    10.
    发明公开

    公开(公告)号:CN110495097A

    公开(公告)日:2019-11-22

    申请号:CN201880019487.4

    申请日:2018-03-12

    Abstract: 一种层状体包括由多晶陶瓷形成并且具有支撑主表面的陶瓷基板和由压电材料形成并且具有通过范德华力结合到所述支撑主表面的结合主表面的压电基片。陶瓷基板包括形成的支撑主表面无定形层,所述支撑主表面无定形层形成为包括所述支撑主表面。压电基片包括形成的结合主表面无定形层,所述结合主表面无定形层形成为包括结合主表面。支撑主表面无定形层的厚度小于所述结合主表面无定形层的厚度。

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