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公开(公告)号：CN1821875A
公开(公告)日：2006-08-23
申请号：CN200610067361.3
申请日：2006-02-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐，其中X代表－OH或－Y－OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1673861B
公开(公告)日：2011-08-03
申请号：CN200510056001.9
申请日：2005-03-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，所述的树脂含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C-1)的化合物：其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。
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公开(公告)号：CN1841201B
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：CN200610077420.5
申请日：2006-03-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07D307/33 , C07C381/12 , C07D307/77 , C08K5/42 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3—30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个-CH2-基团被-COO-基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1—6个碳原子的烷基、含有1—6个碳原子的烷氧基、含有1—4个碳原子的全氟烷基、含有1—6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1—6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0—12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN1821875B
公开(公告)日：2010-10-27
申请号：CN200610067361.3
申请日：2006-02-15
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/004
CPC classification number: C07C309/17 , C07C381/12 , C07C2603/74
Abstract: 本发明提供了一种式(I)的盐其中X代表-OH或-Y-OH，n表示1到9的整数，A+代表有机抗衡离子，Y代表具有1到6个碳原子的二价饱和脂肪烃基。本发明还提供了一种含有式(I)盐的化学放大型抗蚀剂组合物。
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公开(公告)号：CN1841201A
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：CN200610077420.5
申请日：2006-03-29
Applicant: 住友化学株式会社
IPC: G03F7/039 , G03F7/004 , H01L21/027
CPC classification number: C07D307/33 , C07C381/12 , C07D307/77 , C08K5/42 , G03F7/0045
Abstract: 本发明提供一种式(I)的盐：其中环Y代表含有3－30个碳原子的单环或多环烃基，其中一个－CH2－基团被－COO－基团取代，以及单环或多环烃基中的至少一个氢原子任选地被含有1－6个碳原子的烷基、含有1－6个碳原子的烷氧基、含有1－4个碳原子的全氟烷基、含有1－6个碳原子的羟基烷基、羟基或氰基取代；Q1和Q2各自独立地代表氟原子或含有1－6个碳原子的全氟烷基；A+代表有机抗衡离子；n表示0－12的整数。本发明还提供含有式(I)盐的化学放大的抗蚀组合物。
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公开(公告)号：CN1673861A
公开(公告)日：2005-09-28
申请号：CN200510056001.9
申请日：2005-03-21
Applicant: 住友化学株式会社
CPC classification number: G03F7/0045 , G03F7/0397 , Y10S430/106 , Y10S430/111
Abstract: 本发明提供一种化学放大型正光刻胶组合物，其包含：树脂，所述的树脂含有具有酸不稳定基团的结构单元且其本身不溶于或难溶于碱性水溶液且通过酸的作用而变成在碱性水溶液中可溶的；酸生成剂；和式(C－1)的化合物，其中R1和R2各自独立地表示氢或含有1至4个碳原子的烷基，R3、R4和R5各自独立地表示氢或羟基。
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