一种用于太赫兹测量系统纵向分辨力校准的一体式标准器

    公开(公告)号:CN119619053A

    公开(公告)日:2025-03-14

    申请号:CN202411731611.3

    申请日:2024-11-28

    Abstract: 本发明公开了一种用于太赫兹测量系统纵向分辨力校准的一体式标准器,包括长方形上界面基板和台阶标准块,长方形上界面基板设置于台阶标准块上方,尺寸大于台阶标准块;台阶标准块的上端面加工成多个台阶,台阶高度规格对应太赫兹测量系统的纵向分辨力,长方形上界面基板与台阶标准块的台阶之间形成上下测量界面,通过太赫兹测量系统测量上下测量界面反射的太赫兹波,能够判断太赫兹测量系统是否具备与台阶高度规格对应的纵向分辨力;长方形上界面基板和台阶标准块的材质为天然或合成化合物经过成形和高温烧结制成的无机非金属陶瓷材料。本发明能够满足太赫兹测量系统对于纵向分辨力指标的测试与校准需求,确保测量结果的准确性和一致性。

    一种高精度小角度测量装置
    4.
    发明公开

    公开(公告)号:CN119374540A

    公开(公告)日:2025-01-28

    申请号:CN202411448577.9

    申请日:2024-10-16

    Abstract: 本发明公开了一种高精度小角度测量装置,包括平板、轴承、左支撑机构、右支撑机构、电机驱动装置、工作平面、高度测量装置以及数显表,工作平面的中心由轴承支撑,左右两侧分别由左支撑机构及右支撑机构支撑,工作平面的大梁能够绕着轴承转动,电机驱动装置包括电机和减速机,左支撑机构通过弹簧的释放或压缩,带动推杆在竖直方向上向上或向下移动;右支撑机构通过电机带动减速机转动,使精密螺杆在竖直方向上发生转动,带动花键轴上下移动,使工作平面右侧产生高度变化;高度测量装置测量工作平面右侧的高度变化,数显表显示工作平面右侧的高度变化值,并根据高度变化值计算得到角度值。本发明使用方便、结构稳定,可以测量高精度小角度值。

    一种气动式高精度电感位移传感器

    公开(公告)号:CN115930762A

    公开(公告)日:2023-04-07

    申请号:CN202211480720.3

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开一种气动式高精度电感位移传感器,属于几何量校准领域。本发明包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件;测头组件安装在导向组件的底部,与被测件进行球面接触;导向组件实现导向以及气密的功能;复位组件产生的弹簧力使导杆不发生旋转的沿轴向运动,保证标准测头与被测面充分接触,并实现高精度复位;线圈组件将位移量转化成电感量,实现位移量的输出和转化;气动组件形成气腔,在外部供气时导杆向上运动,外部供气断开后在复位组件的作用下导杆向下运动。本发明是一种自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位移传感器,在0~100μm微位移量的高精度测量中,测量重复性达到10nm。

    一种气动式高精度电感位移传感器

    公开(公告)号:CN117091487A

    公开(公告)日:2023-11-21

    申请号:CN202310291487.2

    申请日:2023-03-23

    Abstract: 本发明提供了一种气动式高精度电感位移传感器,属于几何量校准技术领域。本发明提供一种气动式高精度电感位移传感器,包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件。所述导向组件对导杆进行导向,有效增加传感器的导向精度和结构稳定性,同时确保导杆与气动组件中下圆弹片内卡盘内柱面的配合满足气密性要求。本发明通过导向组件对导杆进行导向,通过气动组件和复位组件配合实现导杆的往复运动,通过测头组件实现与被测面的接触,通过线圈组件实现位移量到电感量的转化,是一种可自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位移传感器,在0~100μm微位移量的高精度测量中,测量重复性可达到10nm。

    一种适用于低等级量块高效测量的装置

    公开(公告)号:CN115854813A

    公开(公告)日:2023-03-28

    申请号:CN202211487324.3

    申请日:2022-11-23

    Abstract: 本发明公开一种适用于低等级量块高效测量的装置,属于几何量计量检测领域。本发明包括测量背架组件,精密位移测量组件,量块自动定位组件,底座组件、控制与环境采集组件;通过测量背架组件闭环的运动控制实现精密位移测量组件根据被测量块规格自动的移动到待测位置;通过量块自动定位组件实现标准量块和被测量块的自动定位;通过精密位移测量组件实现量块的自动接触测量;通过控制与环境采集组件实现量块数据的采集显示、环境与材料温度采集;进而实现量块测量的过程的自动化和数据采集处理的自动化,解决手动拨叉与手动移动量块引起的测量一致性受人工因素影响大的难题,提升检定的效率。

    一种线位移标准装置的运动平台结构

    公开(公告)号:CN213455396U

    公开(公告)日:2021-06-15

    申请号:CN202021774643.9

    申请日:2020-08-24

    Abstract: 本实用新型通过一种线位移标准装置的运动平台结构,所述线位移标准装置的运动平台结构包括测量平台、待测位移传感器、激光干涉仪、激光干涉仪镜组和被测目标物,所述激光干涉仪镜组包括干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜,所述干涉镜组靠近激光干涉仪,所述干涉镜组与第一平面反射镜保持同步位移,所述第二平面反射镜与待测位移传感器保持同步位移,所述激光干涉仪的激光镜头、干涉镜组、第一平面反射镜和第二平面反射镜处于同一直线上,所述待测位移传感器与被测目标物处于同一直线上。本实用新型公开的一种线位移标准装置的运动平台结构能够实现检测高精度位移传感器的效果。

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