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发明公开
一种气动式高精度电感位移传感器审中-实审

公开(公告)号：CN115930762A

公开(公告)日：2023-04-07

申请号：CN202211480720.3

申请日：2022-11-23

Applicant: 中国航空工业集团公司北京长城计量测试技术研究所

Inventor： 李艳 , 孙安斌 , 张子辰 , 乔磊 , 王鲁涛 , 谷玉海 , 张志权

IPC: G01B7/02

Abstract: 本发明公开一种气动式高精度电感位移传感器，属于几何量校准领域。本发明包括测头组件、导向组件、复位组件、线圈组件、气动组件；测头组件安装在导向组件的底部，与被测件进行球面接触；导向组件实现导向以及气密的功能；复位组件产生的弹簧力使导杆不发生旋转的沿轴向运动，保证标准测头与被测面充分接触，并实现高精度复位；线圈组件将位移量转化成电感量，实现位移量的输出和转化；气动组件形成气腔，在外部供气时导杆向上运动，外部供气断开后在复位组件的作用下导杆向下运动。本发明是一种自动往复运动、高精度、适用于自动化测量的电感位移传感器，在0～100μm微位移量的高精度测量中，测量重复性达到10nm。

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