公开(公告)号：CN101858929A

公开(公告)日：2010-10-13

申请号：CN201010181131.6

申请日：2010-05-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 车录锋 ,  李伟 ,  孙腾 ,  肖育华 ,  王跃林

IPC: G01P15/125 ,  B81B5/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构，具有高度对称性，可以显著减小传感器的交叉灵敏度，传感器采用微电子机械系统技术制作，是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。

公开(公告)号：CN101858929B

公开(公告)日：2012-09-05

申请号：CN201010181131.6

申请日：2010-05-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 车录锋 ,  李伟 ,  孙腾 ,  肖育华 ,  王跃林

IPC: G01P15/125 ,  B81B5/00 ,  B81C3/00

Abstract: 本发明涉及对称组合弹性梁结构电容式微加速度传感器及其制作方法。加速度传感器由一个对称的中心质量块、外部支撑框架、中心质量块与外部支撑框架相连接的八根对称直梁、两个对称框架梁、八根对称L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构以及上、下盖板组成。与框架梁相连接的每根直弹性梁的另一端连接在中心质量块侧面顶端和底端的中间或顶角，与框架梁相连接的每根L梁的另一端连接在外部支撑框架内侧面。本加速度传感器采用对称直梁、框架梁、L梁连接在一起形成的组合弹性梁结构，具有高度对称性，可以显著减小传感器的交叉灵敏度，传感器采用微电子机械系统技术制作，是一种高灵敏度的电容式微加速度传感器。