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公开(公告)号：CN119535817A
公开(公告)日：2025-02-28
申请号：CN202411508489.3
申请日：2024-10-28
Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
IPC: G02F1/01
Abstract: 本发明涉及一种低损耗桥式加热器结构及其应用，所述加热器结构包括平行设置的若干加热器单元，所述加热器单元长度大于受热单元长度从而形成桥式，所述加热器单元连接金属层。本发明提出的低损耗桥式加热器结构，可以减小加热器材料对光的吸收，降低吸收损耗，进一步可以减小加热器和受热单元之间的间距，增大了热调效率，降低了功耗，提高了热调速率，同时设计的桥式结构减小了加热器件的电阻值，提高了对电学系统的兼容度，避免了被过热击穿的情况，具有良好的应用前景。
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