公开(公告)号：CN116949412A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310977850.6

申请日：2023-08-04

Applicant: 中南大学

Inventor： 王辉 ,  袁士林 ,  粟梅 ,  冯伟权

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法，首先通过采样电路模块获取射频电源的输出电压和输出电流，然后通过特定的判别准则区分微弧和硬弧，并采取相应的控制策略进行抑弧处理，最终实现对电弧的快速检测和有效抑制，提高薄膜沉积质量，避免工件表面产生不可逆的损伤，最后即可设计等离子体射频电源的最优微弧参数，通过调整微弧中断时间、电压阈值和电流阈值，并记录硬弧和软弧的频次，计算出最优的微弧中断时间及相关参数，以实现对微弧的最佳处理。通过使用本发明所提出的等离子体射频电源电弧检测及抑制技术，可以及时检测和抑制电弧的产生，保护工件表面，提高薄膜沉积质量，减少工件不良率。

公开(公告)号：CN117040245A

公开(公告)日：2023-11-10

申请号：CN202311052540.X

申请日：2023-08-21

Applicant: 中南大学

Inventor： 林立新 ,  王辉 ,  黄心沿 ,  袁士林 ,  漆华妹 ,  林韦蔚

IPC: H02M1/00

Abstract: 本发明提出了一种自适应工艺的中频电源智能控制系统及控制方法，自适应工艺的中频电源智能控制系统包括上位机、中频电源和工艺，其中中频电源内部包括功率模块、控制模块、工艺检测模块和记录模块，自适应工艺的中频电源智能控制方法的具体控制流程为启动工艺、判断是否有待恢复的工艺、检测工艺中断、结束，工艺包括PECVD工艺、PEALD工艺或MPCVD工艺，通过本发明中频电源可匹配工艺自动运行，在工艺中断后可实现从中断点继续运行，实现智能控制，从而提高工艺的可靠性和效率。