公开(公告)号：CN116949412A

公开(公告)日：2023-10-27

申请号：CN202310977850.6

申请日：2023-08-04

Applicant: 中南大学

Inventor： 王辉 ,  袁士林 ,  粟梅 ,  冯伟权

IPC: C23C14/54 ,  C23C16/52 ,  H01J37/32

Abstract: 本发明公开了一种等离子体射频电源电弧检测及其抑制方法，首先通过采样电路模块获取射频电源的输出电压和输出电流，然后通过特定的判别准则区分微弧和硬弧，并采取相应的控制策略进行抑弧处理，最终实现对电弧的快速检测和有效抑制，提高薄膜沉积质量，避免工件表面产生不可逆的损伤，最后即可设计等离子体射频电源的最优微弧参数，通过调整微弧中断时间、电压阈值和电流阈值，并记录硬弧和软弧的频次，计算出最优的微弧中断时间及相关参数，以实现对微弧的最佳处理。通过使用本发明所提出的等离子体射频电源电弧检测及抑制技术，可以及时检测和抑制电弧的产生，保护工件表面，提高薄膜沉积质量，减少工件不良率。

公开(公告)号：CN113422520A

公开(公告)日：2021-09-21

申请号：CN202110763422.4

申请日：2021-07-06

Applicant: 中南大学

Inventor： 粟梅 ,  冯伟权 ,  王辉 ,  孙尧 ,  韩华

IPC: H02M5/458 ,  H02M7/219 ,  H02M7/5387 ,  H02M1/088 ,  H02M1/12

Abstract: 本发明提供了一种三相背靠背三电平逆变器的消除共模电压的调制方法，包括：步骤1，获取三相背靠背三电平逆变器的整流侧的原始调制波信号和逆变侧的原始调制波信号；步骤2，选取整流侧的原始调制波信号或逆变侧的原始调制波信号，将选取的原始调制波信号与选取的原始调制波信号的对应侧的三次零序分量进行叠加，得到第一参考调制波信号。本发明适用于所有背靠背三电平逆变器，调制方法简单有效，且无需增加额外硬件电路，能完全消除共模电压的高频波动，对于三电平逆变器的安全运行和获得良好的输出波形质量具有重要意义，有效提高了三电平逆变器的电磁兼容性能。

公开(公告)号：CN113422520B

公开(公告)日：2022-08-26

申请号：CN202110763422.4

申请日：2021-07-06

Applicant: 中南大学

Inventor： 粟梅 ,  冯伟权 ,  王辉 ,  孙尧 ,  韩华

IPC: H02M5/458 ,  H02M7/219 ,  H02M7/5387 ,  H02M1/088 ,  H02M1/12

Abstract: 本发明提供了一种三相背靠背三电平逆变器的消除共模电压的调制方法，包括：步骤1，获取三相背靠背三电平逆变器的整流侧的原始调制波信号和逆变侧的原始调制波信号；步骤2，选取整流侧的原始调制波信号或逆变侧的原始调制波信号，将选取的原始调制波信号与选取的原始调制波信号的对应侧的三次零序分量进行叠加，得到第一参考调制波信号。本发明适用于所有背靠背三电平逆变器，调制方法简单有效，且无需增加额外硬件电路，能完全消除共模电压的高频波动，对于三电平逆变器的安全运行和获得良好的输出波形质量具有重要意义，有效提高了三电平逆变器的电磁兼容性能。