公开(公告)号：CN104661759B

公开(公告)日：2017-11-28

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。

公开(公告)号：CN111107958A

公开(公告)日：2020-05-05

申请号：CN201880057913.3

申请日：2018-10-01

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 和田浩光 ,  村尾幸一

IPC: B23K26/00 ,  B23K26/40

Abstract: 本发明的课题在于容易地确保载置台的平坦度，并且抑制因激光束而在载置台上产生加工痕。具体而言，激光加工装置通过激光束照射而对透明基板上的薄膜进行图案加工，其特征在于，该激光加工装置具有：激光束照射部；以及载置台，该载置台由顶板和底板构成，载置所述透明基板，所述顶板由使从所述激光束照射部照射的激光束透过的部件构成，并且具有对所述透明基板进行真空吸附的透明基板吸引路，所述底板具有：对所述顶板进行支承的顶板支承部；从正面下挖而得的开口部；以及与该开口部连接的顶板吸引路。

公开(公告)号：CN104661759A

公开(公告)日：2015-05-27

申请号：CN201380048511.4

申请日：2013-09-12

Applicant: 东丽工程株式会社

Inventor： 林田健儿 ,  北村义之 ,  川竹洋 ,  大霜征彦 ,  村尾幸一

IPC: B05C5/02 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00

CPC classification number: B05C5/0254 ,  B05C5/001 ,  B05C5/0208 ,  B05C11/1007 ,  B05C11/1015 ,  B05C11/1042 ,  B05D1/26

Abstract: 即使在向基板涂布粘度比较高的涂布液的情况下，也能够在基板上高精度并且高速地形成涂膜。具体而言，涂布装置(1)具有：容器(9)，其积存涂布液；以及喷嘴(3)，其形成有缝(21)，该缝(21)喷出从该容器(9)供给的涂布液，该涂布装置(1)通过从缝(21)喷出涂布液从而向基板涂布涂布液。涂布装置(1)具有：升温部(30)，其使从容器(9)供给的涂布液升温；以及均温部(40)，其在从缝(21)喷出由该升温部升温后的涂布液之前，使该涂布液的温度均匀化。